特許

J-GLOBAL ID：201003048446532617

シリコン融液の供給装置およびこれを備えたシリコン単結晶の育成装置

発明者： 杉村 渉 ,  小野 敏昭 ,  梅野 繁 ,  西元 学 ,  宝来 正隆
出願人/特許権者： 株式会社SUMCO
代理人 (1件)： 森 道雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-191084
公開番号（公開出願番号）：特開2010-024123
出願日： 2008年07月24日
公開日（公表日）： 2010年02月04日
要約：

【課題】連続チャージCZ法によりシリコン単結晶を育成する際に、単結晶引き上げ用ルツボにシリコン融液を安定して供給することができるシリコン融液の供給装置を提供する。【解決手段】融液供給装置20は、原料融解用ルツボ21と、この原料融解用ルツボ21に固形のシリコン原料を供給する原料供給管26と、原料融解用ルツボ21を囲繞し原料融解用ルツボ21内の固体シリコン原料を融解させる誘導加熱コイル25と、原料融解用ルツボ21の底から上方に突出し原料融解用ルツボ21内のシリコン融液30を流出させる融液流出管24と、を備える。融液流出管24から流出するシリコン融液30を単結晶引き上げ用ルツボ2に供給する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

チョクラルスキー法によるシリコン単結晶の育成で用いられる単結晶引き上げ用ルツボにシリコン融液を供給する装置であって、 原料融解用ルツボと、この原料融解用ルツボに固形のシリコン原料を供給する原料供給管と、原料融解用ルツボを囲繞し原料融解用ルツボ内のシリコン原料を融解させる誘導加熱コイルと、原料融解用ルツボの底から上方に突出し原料融解用ルツボ内のシリコン融液を流出させる融液流出管と、を備え、融液流出管から流出するシリコン融液を単結晶引き上げ用ルツボに供給することを特徴とするシリコン融液の供給装置。

IPC (2件)：

C30B 29/06 ,  C30B 15/02

FI (2件)：

C30B29/06 502A ,  C30B15/02

Fターム (6件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF09 ,  4G077EG25 ,  4G077HA12 ,  4G077PA16

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 単結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-079967   出願人：新日本製鐵株式会社
• 材料の連続溶解・流出制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-101167   出願人：新日本製鐵株式会社