感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：渡邉一平 , 木川幸治 , 菅野重慶
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-115613
公開番号（公開出願番号）：特開2010-276624
出願日： 2009年05月12日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：

【課題】焦点深度が広く、パターン剥がれ耐性に優れる感放射線性樹脂組成物の提供。【解決手段】(A)少なくとも下記一般式(1)で表される繰り返し単位および下記一般式(2)で表される繰り返し単位を含み、全繰り返し単位中の下記一般式(2)で表される繰り返し単位の割合が、1モル%〜10モル%である重合体成分と、(B)感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)少なくとも下記一般式(1)で表される繰り返し単位および下記一般式(2)で表される繰り返し単位を含み、全繰り返し単位中の下記一般式(2)で表される繰り返し単位の割合が、1モル%〜10モル%である重合体成分と、 (B)感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 , G03F 7/004 , C08F 220/26 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F7/039 601 , G03F7/004 501 , C08F220/26 , H01L21/30 502R

Fターム (41件)：

2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF21P , 2H125AF33P , 2H125AF36P , 2H125AF70P , 2H125AH16 , 2H125AH17 , 2H125AH18 , 2H125AH19 , 2H125AH29 , 2H125AJ14X , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AJ66X , 2H125AJ69X , 2H125AN39P , 2H125AN42P , 2H125AN54P , 2H125AN82P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100BA11P , 4J100BC03Q , 4J100BC09R , 4J100BC53P , 4J100BC60S , 4J100CA03 , 4J100DA01 , 4J100DA04 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (2件)

レジスト用樹脂および化学増幅型レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-198161 出願人：三菱レイヨン株式会社
新規なエステル化合物、高分子化合物、レジスト材料、及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-307148 出願人：信越化学工業株式会社

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