特許
J-GLOBAL ID：201003050499667551
スパッタリングカソード、スパッタリングカソードを備えたスパッタリング装置、成膜方法、および電子装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
岡部 正夫
, 加藤 伸晃
, 岡部 讓
, 臼井 伸一
, 越智 隆夫
, 朝日 伸光
, 三山 勝巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-054699
公開番号（公開出願番号）：特開2010-031353
出願日： 2009年03月09日
公開日（公表日）： 2010年02月12日
要約：
【課題】ターゲットと磁石ユニットとの距離の調整の自由度を高めることができるスパッタリングカソードを提供すること。【解決手段】本発明の一実施形態に係るスパッタリングカソードは、ターゲット1の裏面に対向する位置に配置される複数の磁石ユニット7と、ターゲット1と磁石ユニット7との間の距離を各々の磁石ユニット7ごとに個別に調節する距離調節機構とを有する。また、スパッタリングカソードは、複数の磁石ユニット7をターゲットの裏面に平行に往復移動させる往復移動機構を有する。複数の磁石ユニット7、距離調節機構及び往復移動機構を、真空排気することが可能な磁石室に収容しても良い。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ターゲットを支持するための面に対向する位置に配置される複数の磁石ユニットを備えるスパッタリングカソードであって、
前記磁石ユニットの各々は、
前記磁石ユニットの磁石と、
前記面に対する前記磁石の距離を調節する距離調節機構と、
前記磁石を前記面に平行に往復移動させる往復移動機構とを有し、
前記往復移動の方向とは異なる所定の方向に沿って、前記磁石ユニットが配置されていることを特徴とするスパッタリングカソード。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
4K029BA11
, 4K029BB02
, 4K029BD02
, 4K029CA05
, 4K029DA02
, 4K029DC39
, 4K029DC43
, 4K029DC46
, 4K029EA00
