特許
J-GLOBAL ID：201003050857318424
試料分析方法、試料搬入部材、試料搬入方法および昇温脱離分析装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
亀井 岳行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-162087
公開番号（公開出願番号）：特開2010-054498
出願日： 2009年07月08日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：
【課題】試料に含まれる極微量の成分の分析の感度を高めること。【解決手段】液体中で試料(14)を調製する試料調製工程と、調製された試料(14)を、試料搬入部材(21)の冷媒液収容部(21b)に収容された液体状の冷媒中に沈んだ状態で収容する試料冷却収容工程と、試料(14)が収容された試料搬入部材(21)を、真空状態に排気されて分析が行われる分析真空室(2)に接続された搬入室(12)に搬入する試料搬入工程と、搬入室(12)を、真空状態に排気する搬入室排気工程と、搬入室(12)の試料搬入部材(21)を分析真空室(2)に移動させ、試料搬入部材(21)の試料(14)を、分析真空室(2)の試料保持部材(3)に移動させる試料移動工程と、試料保持部材(3)の試料に対して分析を行う試料分析工程と、を実行する試料分析方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
液体中で試料を調製する試料調製工程と、
調製された前記試料を、試料搬入部材の冷媒液収容部に収容された液体状の冷媒中に沈んだ状態で収容する試料冷却収容工程と、
前記試料が収容された前記試料搬入部材を、真空状態に排気されて分析が行われる分析真空室に接続された搬入室に搬入する試料搬入工程と、
前記搬入室を、真空状態に排気する搬入室排気工程と、
前記搬入室の前記試料搬入部材を前記分析真空室に移動させ、前記試料搬入部材の前記試料を、前記分析真空室の試料保持部材に移動させる試料移動工程と、
前記試料保持部材の試料に対して分析を行う試料分析工程と、
を実行することを特徴とする試料分析方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2G052AD12
, 2G052AD52
, 2G052CA04
, 2G052CA05
, 2G052GA24
