特許

J-GLOBAL ID：201003054929265059

座標測定機における動的変形による測定誤差の補正

発明者： ベルディ・ミシェル ,  グアスコ・ジアンピエロ ,  ルッソ・ドメニコ
出願人/特許権者： ヘキサゴン・メトロロジー・エス.ピー.エー.
代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-514154
公開番号（公開出願番号）：特表2010-531451
出願日： 2007年12月27日
公開日（公表日）： 2010年09月24日
要約：

【解決手段】測定機(1)は、測定容積内において測定センサ(3)を移動させるために座標軸線に沿って移動可能な複数の部材(8、10、12)を設けた可動ユニット(7)を備え、レーザセンサ(26)は、可動部材(8)に結び付いて、可動ユニット(7)の動的変形に関連した値を供給し、これらの値は、動的変形により生じた測定機(1)の測定誤差を補正するために処理される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

測定容積内において測定センサ(3)を移動させるための可動ユニット(7)を備える測定機であって、 前記可動ユニット(7)は、駆動手段(13)の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの部材(8、12、42、56)を含み、 前記測定機は、 前記動的変形により生じる相対変位の影響を受ける前記可動部材(8、12、42、56)の第一と第二の部分のうちの前記第一の部分に固定されたレーザエミッタ(22)と、前記可動部材の第二の部分に固定され且つ前記レーザエミッタ(22)により生成されたレーザ光(26)を受領するように設計された標的(28)と、が設けられたレーザセンサ(16)と、 前記標的(28)上におけるレーザ光(26)の入射点の非変形状態における基準位置からの変位に応じて、前記可動ユニット(7)の動的変形の結果として生じる前記測定機(1)の測定誤差を補正するための手段(14)と、 を備えることを特徴とする測定機。

IPC (4件)：

G01B 21/00 ,  G01B 5/008 ,  G01B 11/00 ,  G01B 5/00

FI (4件)：

G01B21/00 E ,  G01B5/008 ,  G01B11/00 C ,  G01B5/00 P

Fターム (27件)：

2F062AA04 ,  2F062DD01 ,  2F062EE01 ,  2F062EE09 ,  2F062EE62 ,  2F062FF05 ,  2F062HH01 ,  2F062JJ00 ,  2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA19 ,  2F065AA65 ,  2F065DD08 ,  2F065FF23 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ26 ,  2F065KK01 ,  2F065RR06 ,  2F069AA03 ,  2F069AA04 ,  2F069GG01 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069GG63 ,  2F069JJ04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 3次元空間座標計測機のアーム延長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-125134   出願人：日立プラント建設株式会社
• 三次元測定機の測定誤差補正装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-077187   出願人：株式会社ミツトヨ
• 特開平2-142924