特許
J-GLOBAL ID:201003056600206950
半導体発光素子およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
藤島 洋一郎
, 三反崎 泰司
, 長谷部 政男
, 田名網 孝昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-209055
公開番号(公開出願番号):特開2010-045249
出願日: 2008年08月14日
公開日(公表日): 2010年02月25日
要約:
【課題】光出力の温度依存性を低減することの可能な半導体発光素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】下部DBR層18と下部クラッド層11との間、すなわち、キャビティ内に基板10が設けられている。これにより、半導体レーザ1の実効的な共振器長が基板10の厚さの分だけ長くなり、複数の軸モードで発振が生じるので、温度変化により発振波長がシフトした場合であっても、いずれかの軸モードにおいて、シフトした後の発振波長における波長オフセット量が、光出力が最大となるときの波長オフセット量と等しいか、それに近い値になる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
半導体基板の一の面上に、下部クラッド層、活性層、上部クラッド層および上部多層膜反射鏡を順に含む半導体層を形成すると共に、前記半導体基板の他の面上に、下部多層膜反射鏡を形成する半導体発光素子の製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (11件):
5F173AC03
, 5F173AC13
, 5F173AC35
, 5F173AC42
, 5F173AC61
, 5F173AH02
, 5F173AP05
, 5F173AP33
, 5F173AR13
, 5F173AR43
, 5F173AR71
引用特許:
出願人引用 (1件)
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面発光半導体レーザ素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-153125
出願人:古河電気工業株式会社
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