特許

J-GLOBAL ID：201003057609888251

液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置

発明者： 沢崎 立雄
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-322999
公開番号（公開出願番号）：特開2010-143084
出願日： 2008年12月18日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：

【課題】セラミック振動板の破壊を低減して耐久性及び信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置を提供する。【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室12と、該圧力発生室12の一方面側に設けられたシリコン酸化膜50と、該シリコン酸化膜50の前記圧力発生室12とは反対側に設けられたセラミック振動板55と、前記セラミック振動板55の上方に設けられて、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生素子300と、を具備し、前記シリコン酸化膜50と前記セラミック振動板55との間には、貴金属材料からなる金属膜56を有する。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

ノズル開口に連通する圧力発生室と、 該圧力発生室の一方面側に設けられたシリコン酸化膜と、該シリコン酸化膜の前記圧力発生室とは反対側に設けられたセラミック振動板と、 前記セラミック振動板の上方に設けられて、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生素子と、を具備し、 前記シリコン酸化膜と前記セラミック振動板との間には、貴金属材料からなる金属膜を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。

IPC (6件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (6件)：

B41J3/04 103A ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z

Fターム (9件)：

2C057AF65 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AG85 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (2件)

• アクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-069661   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特許第3379538号公報