特許

J-GLOBAL ID：201003057620090857

インプリント用モールドおよびパターン形成方法

発明者： 古殿 瑶子 ,  稲浪 良市 ,  野村 博
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (21件)： 鈴江 武彦 ,  蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  風間 鉄也 ,  勝村 紘 ,  河井 将次 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓 ,  市原 卓三 ,  山下 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-333077
公開番号（公開出願番号）：特開2010-149482
出願日： 2008年12月26日
公開日（公表日）： 2010年07月08日
要約：

【課題】モールド欠陥の発生を抑制できるインプリント用モールドを提供すること。【解決手段】転写するべきパターンに対応した凹凸パターン11を備えたインプリント用モールド1において、少なくとも、凹凸パターン11の凹部の底と、前記凹部の底と対向する、前記凹凸パターンが形成された面と反対側の面との間の領域4は、石英よりもガスに対する透過性が高いことを特徴とする。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

転写するべきパターンに対応した凹凸パターンを備えたインプリント用モールドの少なく一部は、不純物が添加されていない溶融石英よりもガスに対する透過性が高いことを特徴とするインプリント用モールド。

IPC (4件)：

B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  B81C 99/00 ,  B29C 33/38

FI (4件)：

B29C59/02 B ,  H01L21/30 502D ,  B81C5/00 ,  B29C33/38

Fターム (26件)：

3C081AA18 ,  3C081CA37 ,  3C081CA39 ,  3C081DA46 ,  4F202AA36 ,  4F202AC05 ,  4F202AH33 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ06 ,  4F202AJ10 ,  4F202CA03 ,  4F202CP02 ,  4F202CP04 ,  4F209AA43 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AJ06 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 光インプリント用スタンパおよびそれを用いた発光装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-343736   出願人：京セラ株式会社

審査官引用 (2件)

• ナノインプリントスタンパー用シリカ・チタニアガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-132751   出願人：信越石英株式会社
• 微細金型コア部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-110128   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, ブラザー工業株式会社