特許
J-GLOBAL ID：201003059221154453
吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
落合 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-250883
公開番号（公開出願番号）：特開2010-082490
出願日： 2008年09月29日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：
【課題】機能液滴吐出ヘッドの吐出検査精度を維持しつつ、搬送荷重を低減することができる吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供する。【解決手段】この吐出検査装置は、検査吐出を受ける検査シート72を下側から水平に支持するシート支持プレートを備えた吐出受け部と、移動軸ベースの上面に分布させて上向きに設けられた複数のベルヌーイチャックと、作動気体供給手段から複数のベルヌーイチャックに供給された作動気体により気体浮上させたシート支持プレートを水平面内で移動させる移動手段と、を備えた移動部と、から成る吐出検査装置であって、シート支持プレートは、複数のベルヌーイチャックの上方に浮上間隙を存して配設され、且つ複数のベルヌーイチャックの負圧を検査シート72に作用させる複数の負圧連通孔を有している。【選択図】図17
請求項（抜粋）：
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドから検査吐出された機能液が着弾する吐出受け部と、前記吐出受け部に着弾した機能液の着弾ドットを画像認識して機能液の吐出性能を検査する検査部と、前記吐出受け部を水平面内で移動させる移動部と、から成る吐出検査装置であって、
前記吐出受け部は、前記検査吐出を受ける検査シートと、前記検査シートを下側から水平に支持するシート支持プレートと、を備え、
前記移動部は、移動軸ベースと、前記移動軸ベースの上面に分布させて上向きに設けられた複数のベルヌーイチャックと、前記複数のベルヌーイチャックに作動気体を供給する作動気体供給手段と、前記複数のベルヌーイチャックにより気体浮上させた前記シート支持プレートを、前記水平面内で移動させる移動手段と、を備え、
前記シート支持プレートは、前記複数のベルヌーイチャックによる浮上間隙を存して前記複数のベルヌーイチャックの上方に配設され、
且つ前記複数のベルヌーイチャックの負圧を前記検査シートに作用させる複数の負圧連通孔を有していることを特徴とする吐出検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
4F041AA02
, 4F041AB01
, 4F041BA02
, 4F041BA13
, 4F042AA02
, 4F042AB00
, 4F042DF09
, 4F042DF10
, 4F042DF15
, 4F042DH09
