感光性組成物及びパターン膜の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：宮▲崎▼主税 , 目次誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-199667
公開番号（公開出願番号）：特開2010-039056
出願日： 2008年08月01日
公開日（公表日）： 2010年02月18日
要約：

【課題】露光及び現像により感光性組成物の硬化物からなるパターン膜を基板上に形成した場合に、得られたパターン膜の柔軟性を高めることができ、従ってパターン膜の耐久性を高めることができる感光性組成物を提供する。【解決手段】下記式(1)で表される少なくとも1種のシラン化合物を重合させることにより得られたシロキサンポリマーと、光重合開始剤とを含有し、上記式(1)で表される少なくとも1種のシラン化合物に、下記式(1)で表され、かつ下記式(1)中のpが2であるシラン化合物が含まれており、上記シロキサンポリマーの重量平均分子量が500〜60000の範囲内にあり、上記シロキサンポリマーの固形分酸価が5〜800KOHmg/gの範囲内にある感光性組成物。 Si(X)p(R)4-p ・・・式(1) 上記式(1)中、Xは加水分解性基を表し、Rは炭素数1〜30の非加水分解性の有機基を表し、pは1〜4の整数を表す。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記式(1)で表される少なくとも1種のシラン化合物を重合させることにより得られたシロキサンポリマーと、光重合開始剤とを含有し、前記式(1)で表される少なくとも1種のシラン化合物に、下記式(1)で表され、かつ下記式(1)中のpが2であるシラン化合物が含まれており、前記シロキサンポリマーの重量平均分子量が500〜60000の範囲内にあり、前記シロキサンポリマーの固形分酸価が5〜800KOHmg/gの範囲内にあることを特徴とする、感光性組成物。 Si(X)p(R)4-p ・・・式(1) 上記式(1)中、Xは加水分解性基を表し、Rは炭素数1〜30の非加水分解性の有機基を表し、pは1〜4の整数を表す。pが2〜4のとき、複数のXは同一であってもよく、異なっていてもよい。pが1又は2のとき、複数のRは同一であってもよく、異なっていてもよい。

IPC (8件)：

G03F 7/075 , G03F 7/027 , G03F 7/40 , H01L 21/027 , C08G 77/14 , C08G 77/28 , C08F 299/08 , C08F 290/00

FI (9件)：

G03F7/075 511 , G03F7/027 501 , G03F7/075 521 , G03F7/40 501 , H01L21/30 502R , C08G77/14 , C08G77/28 , C08F299/08 , C08F290/00

Fターム (79件)：

2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC34 , 2H025BC42 , 2H025BC78 , 2H025BD55 , 2H025BE00 , 2H025CA02 , 2H025CA35 , 2H025CB33 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096BA05 , 2H096BA06 , 2H096EA02 , 2H096GA09 , 2H096HA01 , 4J127AA03 , 4J127AA04 , 4J127BA041 , 4J127BA061 , 4J127BB041 , 4J127BB091 , 4J127BB221 , 4J127BC061 , 4J127BC151 , 4J127BD321 , 4J127BD331 , 4J127BE59Y , 4J127BE591 , 4J127BF71Y , 4J127BF711 , 4J127BF74Y , 4J127BF741 , 4J127BF75Y , 4J127BF751 , 4J127BG16Y , 4J127BG161 , 4J127BG17Y , 4J127BG171 , 4J127BG20Y , 4J127BG201 , 4J127BG38Y , 4J127BG381 , 4J127CA01 , 4J127CB281 , 4J127CB341 , 4J127CC031 , 4J127CC091 , 4J127CC131 , 4J127FA17 , 4J127FA37 , 4J246AA03 , 4J246BA340 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246CA24X , 4J246CA240 , 4J246CA58X , 4J246CA580 , 4J246CA65X , 4J246CA650 , 4J246CA67X , 4J246CA670 , 4J246CA68X , 4J246CA680 , 4J246CA83X , 4J246CA830 , 4J246FA061 , 4J246FA131 , 4J246FA431 , 4J246FA72 , 4J246GA01 , 4J246GB04 , 4J246GD08 , 4J246HA15

引用特許：

出願人引用 (1件)

感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-296954 出願人：東レ株式会社

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