特許
J-GLOBAL ID:201003066979287477

基板搬送用治具、及び素子基板の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 前田 弘 ,  竹内 祐二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-165414
公開番号(公開出願番号):特開2010-010247
出願日: 2008年06月25日
公開日(公表日): 2010年01月14日
要約:
【課題】液状の接着材を用いて、所定の領域内に接着層を確実に形成する。【解決手段】可撓性基板を表面に保持するための保持基板10aと、保持基板10aの表面に設けられ、可撓性基板を接着するための液状の接着剤12aとを備えた基板搬送用治具20であって、保持基板10aの表面には、可撓性基板が保持されたときに接着剤12aを内部に封入するための枠状の粘着層11aが設けられている。【選択図】図2
請求項(抜粋):
可撓性基板を表面に保持するための保持基板と、 上記保持基板の表面に設けられ、上記可撓性基板を接着するための液状の接着剤とを備えた基板搬送用治具であって、 上記保持基板の表面には、上記可撓性基板が保持されたときに上記接着剤を内部に封入するための枠状の粘着層が設けられていることを特徴とする基板搬送用治具。
IPC (3件):
H01L 21/677 ,  G02F 1/13 ,  G09F 9/00
FI (3件):
H01L21/68 A ,  G02F1/13 101 ,  G09F9/00 338
Fターム (20件):
2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA29 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA02 ,  2H088MA20 ,  2H090HD08 ,  2H090JB03 ,  2H090LA01 ,  2H090LA02 ,  5F031CA04 ,  5F031CA09 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許:
出願人引用 (3件)

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