特許
J-GLOBAL ID：201003068042940461
素子試験装置及び接触子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-229659
公開番号（公開出願番号）：特開2010-066000
出願日： 2008年09月08日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：
【課題】半導体装置を精度よく評価する。【解決手段】素子試験装置1は、半導体素子20に配設されたコレクタ電極に接触して半導体素子20を支持する金属板11と、半導体素子20に配設されたエミッタ電極20eを押圧しつつ、エミッタ電極20eに接触する伸縮機構を備えた複数の接触子30eと、を備えている。そして、接触子30eの先端部がアルカリ溶液に対し、耐性のある金属で構成されている。このような素子試験装置1によれば、先端部の目減りが防止され、半導体素子20を精度よく評価することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体素子の電気的特性を評価する素子試験装置であって、
前記半導体素子の第1の主面に配設された第1の主電極に接触して、前記半導体素子を支持する支持台と、
支持された前記半導体素子の第2の主面に配設された第2の主電極を押圧しつつ、前記第2の主電極に接触する伸縮機構を備えた複数の接触子と、
を備え、
前記接触子がホルダ部と、前記ホルダ部に対し伸縮する支柱部と、前記支柱部の先端に設けられた先端部と、を有し、前記先端部がアルカリ溶液に対し、耐性のある金属で構成されていることを特徴とする素子試験装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R1/067 J
, G01R31/26 J
2G003AA01
, 2G003AE09
, 2G003AG03
, 2G003AG12
, 2G003AH07
, 2G011AA04
, 2G011AA16
, 2G011AB01
, 2G011AB03
, 2G011AB04
, 2G011AB05
, 2G011AB07
, 2G011AB09
, 2G011AC13
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AE22
, 2G011AF07
