特許
J-GLOBAL ID：201003068373386464

圧電素子

発明者：
岩崎 富生

岩崎 富生 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-271679
公開番号（公開出願番号）：特開2010-103209
出願日： 2008年10月22日
公開日（公表日）： 2010年05月06日
要約：
【課題】圧電性能が高く変位が大きいとともに、信頼性の高い圧電素子を提供する。【解決手段】BaTi2O5を主構成材料とする圧電材料体と、圧電材料体に電圧を印加する内部電極とを有する圧電素子において、内部電極の主構成材料に圧電材料BaTi2O5との格子整合性が良い電極材料(RuとRuO2の混合物)を用いる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
BaTi2O5を主構成材料とする圧電材料体と、該圧電材料体に電圧を印加する内部電極とを有する圧電素子チップを複数積層して圧電素子チップブロックを構成し、該圧電素子チップブロックを接合層を介して複数個接合した圧電素子において、 前記内部電極は前記圧電材料体の積層方向に垂直な断面を覆って形成され、前記圧電素子の一側面に露出した前記内部電極に設けられた電気絶縁層と、前記圧電素子の他の側面に露出した前記内部電極と接続する外部電極とを有し、かつ前記内部電極の主構成材料がRuとRuO2の混合物であることを特徴とする圧電素子。
IPC (2件)：
H01L 41/083 ,  H01L 41/187
FI (2件)：
H01L41/08 N ,  H01L41/18 101B
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (7件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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