特許
J-GLOBAL ID：201003068720907577
光機能素子の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-334329
公開番号（公開出願番号）：特開2010-156787
出願日： 2008年12月26日
公開日（公表日）： 2010年07月15日
要約：
【課題】異なる周期の周期分極反転構造を均一に形成することができる光機能素子の製造方法を得ること。【解決手段】強誘電体材料からなる基板101の一の主面上の対向する一対の辺の周縁部に絶縁層102を形成する工程と、基板101の一の主面上に金属膜を形成し、他の主面上に裏面電極104を形成する工程と、金属膜103Aをパターニングし、一対の絶縁層102間に形成された領域内に、絶縁層102間を結ぶ方向に延在した所定の周期の櫛歯電極105A,105Bを、複数の周期でそれぞれ異なる領域に形成し、絶縁層102上にそれぞれの櫛歯電極105A,105Bの端部と接続される外枠電極105Cを形成する工程と、外枠電極105Cと裏面電極104との間に電圧を印加する工程と、を含み、櫛歯電極105A,105Bの延在方向における外枠電極105Cの長さは、櫛歯電極の周期が長い領域ほど短くなるように形成される。【選択図】 図1-4
請求項（抜粋）：
強誘電体材料からなる基板の第1の主面上に絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
前記基板の対向する一対の辺の周縁部にのみ前記絶縁層が残るようにパターニングするパターニング工程と、
前記パターニングされた絶縁層が形成された前記基板上に金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記基板の第2の主面上に裏面電極を形成する裏面電極形成工程と、
前記一対の絶縁層間に形成された周期分極反転構造形成領域内に、前記絶縁層間を結ぶ方向に延在した電極を所定の周期で櫛歯状に複数並列に配置した櫛歯電極が、複数の周期でそれぞれ異なる領域に形成され、前記絶縁層上に、前記櫛歯電極の端部と接続され、前記異なる周期の櫛歯電極間を接続する外枠電極が形成されるように、前記金属膜をパターニングし、表面電極を形成する表面電極形成工程と、
前記外枠電極と前記裏面電極との間に、少なくとも周期の最も短い櫛歯電極の下の領域で分極反転が完了する時間の間、電圧を印加して周期分極反転構造を形成する周期分極反転構造形成工程と、
を含み、
前記櫛歯電極の延在方向における前記外枠電極の長さは、前記櫛歯電極の周期が長い領域ほど短くなるように形成されることを特徴とする光機能素子の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
2K002CA03
, 2K002EB07
, 2K002FA27
, 2K002HA14
