特許

J-GLOBAL ID：201003068758804534

レーザ加工装置

発明者： 佐々木 基 ,  小関 良治
出願人/特許権者： 澁谷工業株式会社
代理人 (2件)： 神崎 真一郎 ,  神崎 真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-253897
公開番号（公開出願番号）：特開2010-082651
出願日： 2008年09月30日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：

【解決手段】 レーザ加工装置1は、レーザ光Lを発振するレーザ発振器2と、高圧の液体を供給する液体供給手段14と、上記液体を液柱Wにして噴射するとともに該液柱Wにレーザ光を導光して被加工物Pに照射する加工ヘッド3と、上記加工ヘッド3と被加工物Pとを相対移動させる移動手段としての加工テーブル5とを備えている。 上記レーザ発振器2が発振したレーザ光Lは、上記ビームホモジナイザ7を透過してから、上記噴射ノズル12より噴射される液柱Wに導光され、該液柱Wを導光路として上記被加工物Pに照射されるようになっている。【効果】 光起電用パネルを構成する薄膜にレーザ光を照射しても、発電に寄与しない熱影響部分の形成される範囲を小さくするとともに、分割溝の幅を狭くすることが可能である。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

レーザ発振器から発振されたレーザ光を薄膜の形成された光起電用パネルとなる被加工物に照射する加工ヘッドと、該加工ヘッドと上記被加工物とを相対移動させる移動手段とを備え、 上記レーザ光により上記薄膜を分割して、上記光起電用パネルを製造するレーザ加工装置において、 高圧の液体を供給する液体供給手段と、上記加工ヘッドの先端に設けられて上記液体供給手段からの液体を液柱にして噴射する噴射ノズルとを備えるとともに、 上記加工ヘッドにビームホモジナイザを設け、 上記レーザ発振器から発振されたレーザ光は、上記ビームホモジナイザを透過してから、上記噴射ノズルより噴射される液柱に導光され、該液柱を導光路として上記被加工物に照射されることを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (2件)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/14

FI (2件)：

B23K26/00 D ,  B23K26/14 Z

Fターム (6件)：

4E068AD00 ,  4E068CD02 ,  4E068CD04 ,  4E068CH08 ,  4E068CJ07 ,  4E068DA10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 薄膜太陽電池の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-118718   出願人：松下電器産業株式会社