特許

J-GLOBAL ID：201003069143843099

結晶表面の平坦化方法

発明者： 坂間 弘 ,  市川 能也
出願人/特許権者： 学校法人上智学院
代理人 (1件)： 速水 進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-232917
公開番号（公開出願番号）：特開2010-064926
出願日： 2008年09月11日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：

【課題】表面が(111)面であり、ペロブスカイト構造を有する結晶基板を高い確率で平坦化することができる結晶表面の平坦化方法を提供する。【解決手段】結晶の表面を、フッ化アンモニウムを含有するエッチング液でエッチングする工程S20と、結晶を不活性ガス中でアニール処理する工程S30とを備える。エッチング工程S20の前に、結晶の表面を有機溶剤で洗浄する工程S10を備えるのが好ましい。結晶は、例えばチタン酸ストロンチウムである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

表面が(111)面であり、ペロブスカイト構造を有する結晶を、フッ化塩を含有するエッチング液でエッチングする工程と、 前記結晶を不活性ガス中でアニール処理する工程と、 を備える結晶表面の平坦化方法。

IPC (4件)：

C30B 29/32 ,  C30B 33/10 ,  C30B 33/02 ,  C01G 23/00

FI (4件)：

C30B29/32 C ,  C30B33/10 ,  C30B33/02 ,  C01G23/00 C

Fターム (14件)：

4G047CA07 ,  4G047CB08 ,  4G047CD08 ,  4G077AA02 ,  4G077AB02 ,  4G077AB10 ,  4G077BC42 ,  4G077FE02 ,  4G077FE11 ,  4G077FG06 ,  4G077FG20 ,  4G077HA06 ,  4G077HA08 ,  4G077HA12

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 単結晶の表面処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-248868   出願人：株式会社信光社