特許

J-GLOBAL ID：201003069171085256

基板の処理装置

発明者： 樋口 晃一
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (21件)： 鈴江 武彦 ,  蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  風間 鉄也 ,  勝村 紘 ,  河井 将次 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓 ,  市原 卓三 ,  山下 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-170307
公開番号（公開出願番号）：特開2010-010555
出願日： 2008年06月30日
公開日（公表日）： 2010年01月14日
要約：

【課題】 この発明はカップ体内に設けられた仕切体を上昇させた状態及び下降させた状態のいずれであってもカップ体内を確実に排気できる処理装置を提供することにある。【解決手段】 カップ体2内に設けられた回転テーブル3と、カップ体内の雰囲気を排出する第1の排気ブロア21と、回転テーブルの外周とカップ体の内周との間に周方向全長にわたって設けられる固定仕切体11及び上下駆動手段13によって上下方向に駆動される可動仕切体12を有し、上昇方向に駆動されたときに基板から飛散する処理液を内周面に衝突させる仕切体と、仕切体の内周面に衝突してカップ体の内底部に落下した処理液を回収する気液分離器22と、仕切体の周壁に設けられ仕切体を上昇させて処理液を回収するときに第1の排気ブロアによる排気経路が仕切体によって遮断されるのを阻止する気体を通過して液体の通過を阻止する材料によって形成された通気性部材12aを具備する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板を複数の処理液によって処理する処理装置であって、 カップ体と、 このカップ体内に設けられ上記基板を保持して回転駆動される回転テーブルと、 上記カップ体内の雰囲気を排出する第1の排気手段と、 上記回転テーブルの外周と上記カップ体の内周との間に周方向全長にわたって上記カップ体に固定して設けられた固定仕切体及びこの固定仕切体に上下駆動手段によって上下方向に駆動可能に設けられた可動仕切体を有し、この可動仕切体を上昇方向に駆動したときに上記基板から飛散する処理液を内周面に衝突させる仕切体と、 この仕切体の内周面に衝突して上記カップ体の内に落下した処理液を回収する回収手段と、 上記仕切体の周壁に設けられこの仕切体を上昇させて処理液を回収するときに上記第1の排気手段による排気経路が上記仕切体によって遮断されるのを阻止する気体を通過して液体の通過を阻止する材料によって形成された通気性部材と を具備したことを特徴とする基板の処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 ,  B08B 3/02

FI (3件)：

H01L21/304 648L ,  H01L21/304 643A ,  B08B3/02 B

Fターム (34件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB34 ,  3B201AB48 ,  3B201BB23 ,  3B201BB92 ,  3B201CB01 ,  3B201CC01 ,  3B201CD11 ,  3B201CD22 ,  3B201CD33 ,  3B201CD35 ,  3B201CD43 ,  5F157AB02 ,  5F157AB13 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157AC01 ,  5F157AC25 ,  5F157BB23 ,  5F157BH21 ,  5F157CB03 ,  5F157CC02 ,  5F157CE76 ,  5F157CE77 ,  5F157CF20 ,  5F157CF22 ,  5F157CF32 ,  5F157CF74 ,  5F157CF92 ,  5F157DB02 ,  5F157DB37 ,  5F157DB51 ,  5F157DC84

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-213531   出願人：大日本スクリーン製造株式会社