特許
J-GLOBAL ID：201003069786035500
プレーナ型アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村松 恒幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-290133
公開番号（公開出願番号）：特開2010-117515
出願日： 2008年11月12日
公開日（公表日）： 2010年05月27日
要約：
【課題】 可動部に別部材を搭載することなく、可動部の位置検出を行うことができ、しかも、小型化を図ることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。【解決手段】 デバイス基板に設置された枠状の固定部と、固定部の内側に可動自在に支持され駆動手段により駆動される第1可動部6と、第1可動部6の振動が伝達される振動位置に設置され、第1可動部6の駆動周波数と同一の共振周波数を有する振動体7と、振動体7の振動を検知する検知手段と、を備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
デバイス基板に設置された枠状の固定部と、
前記固定部の内側に、支持梁を介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部と、
前記可動部の振動が伝達される振動位置に設置され、前記可動部の駆動周波数と同一の共振周波数を有する振動体と、
前記振動体の振動を検知する検知手段と、
を備えていることを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B26/10 104Z
, B81B3/00
2H045AB10
, 2H045AB13
, 2H045AB16
, 2H045AB38
, 2H045AB44
, 2H045AB81
, 3C081BA44
, 3C081BA47
, 3C081BA54
, 3C081BA76
, 3C081EA08
