ウェーハの面取り加工方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：土橋皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-099410
公開番号（公開出願番号）：特開2010-247273
出願日： 2009年04月15日
公開日（公表日）： 2010年11月04日
要約：

【課題】従来のウェーハの面取り加工では、ウェーハ一周の面取り形状(断面形状)が均一であるが、ウェーハ製造の後工程処理方法では均一な面取り形状が円周位置ごとに変化してしまうことから、ウェーハ製造の後工程処理に応じたウェーハ面取り加工方法を提供することにある。【解決手段】溝なし砥石をウェーハの周端部(エッジ)に接触させてウェーハを面取りする面取り加工方法であって、前記ウェーハと砥石をZ軸およびY軸方向に相対的に移動させてウェーハ全周で同一の断面形状を形成する移動軌跡を基準とし、ウェーハ回転角度位置に応じてZ軸またはY軸のうち少なくとも1軸方向にウェーハと砥石の相対的位置を上記基準軌跡位置から変動させて加工する動作のために、圧電アクチュエータを使用して、ウェーハの回転角度位置に応じて異なる断面形状を形成することを特徴とするものである。【選択図】図12

請求項（抜粋）：

回転テーブル上にウェーハを芯だしして載置し、回転して、この回転するウェーハを加工する溝なし砥石をウェーハ周端部に接触させてウェーハを面取りする面取り加工方法であって、前記ウェーハと砥石をZ軸およびY軸方向に相対的に移動させてウェーハ全周で同一の断面形状を形成する移動軌跡を基準とし、ウェーハ回転角度位置に応じてZ軸またはY軸のうち少なくとも1軸方向にウェーハと砥石の相対的位置を上記基準軌跡位置から変動させて加工する動作のために、圧電アクチュエータを使用して、上記ウェーハの回転角度位置に応じて異なる断面形状を形成するウェーハの面取り加工方法。

IPC (3件)：

B24B 9/00 , H01L 21/304 , B24B 17/10

FI (4件)：

B24B9/00 601H , H01L21/304 601B , H01L21/304 622R , B24B17/10 P

Fターム (14件)：

3C049AA03 , 3C049AA12 , 3C049AA13 , 3C049AA14 , 3C049AA18 , 3C049AB03 , 3C049AC02 , 3C049BA02 , 3C049BA07 , 3C049BB02 , 3C049BB06 , 3C049BC01 , 3C049BC02 , 3C049CA05

引用特許：

審査官引用 (4件)

ウェーハ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-294252 出願人：株式会社東京精密
ウェーハ面取り加工方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-009228 出願人：エムテック株式会社
ウェーハ外周研削方法及びウェーハ外周研削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-224531 出願人：株式会社東京精密, 株式会社東精エンジニアリング

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