特許
J-GLOBAL ID:201003071798015100
液晶表示装置用樹脂組成物および液晶表示装置用基板の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-204093
公開番号(公開出願番号):特開2010-039345
出願日: 2008年08月07日
公開日(公表日): 2010年02月18日
要約:
【課題】本発明は、高さの異なる付加構造体の一括形成に用いた際、微細加工精度良く形成することが可能な樹脂組成物を提供することを目的とする。 【解決手段】上記課題を解決するために、本発明は、半透過膜またはi線波長での解像限界以下の遮光膜パターンを有するフォトマスクを介して露光され、少なくともバインダー樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、および溶剤からなる液晶表示装置用感光性樹脂組成物において、該感光性樹脂組成物が、バインダー樹脂/光重合性モノマーの重量比が40/60以上80/20以下、バインダー樹脂の重量平均分子量が10000以上100000以下、かつバインダー樹脂の酸価が50mgKOH/g以上75mgKOH/g以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】図1
請求項(抜粋):
半透過膜またはi線波長での解像限界以下の遮光膜パターンを有するフォトマスクを介して露光され、少なくともバインダー樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤および溶剤からなる液晶表示装置用感光性樹脂組成物において、該感光性樹脂組成物が、バインダー樹脂/光重合性モノマーの重量比が40/60以上80/20以下、バインダー樹脂の重量平均分子量が10000以上100000以下、かつバインダー樹脂の酸価が50mgKOH/g以上75mgKOH/g以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (6件):
G03F 7/032
, G02B 5/20
, G03F 7/027
, G03F 7/004
, G03F 7/40
, G02F 1/133
FI (6件):
G03F7/032
, G02B5/20 101
, G03F7/027
, G03F7/004 501
, G03F7/40 501
, G02F1/1339 500
Fターム (45件):
2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA04
, 2H025AB13
, 2H025AB14
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC43
, 2H025CA02
, 2H025CA27
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB43
, 2H025CB55
, 2H025CC02
, 2H025FA17
, 2H048BA02
, 2H048BA48
, 2H048BB08
, 2H048BB42
, 2H096AA23
, 2H096AA27
, 2H096AA28
, 2H096BA05
, 2H096EA02
, 2H096GA08
, 2H096HA01
, 2H189AA07
, 2H189DA07
, 2H189EA06X
, 2H189FA05
, 2H189FA15
, 2H189FA16
, 2H189FA25
, 2H189FA44
, 2H189HA12
, 2H189JA05
, 2H189JA07
, 2H189JA08
, 2H189JA10
, 2H189JA12
, 2H189JA14
, 2H189NA03
引用特許:
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