特許
J-GLOBAL ID：200903064014315601

露光マスク用ブランク及びその製造方法並びに露光マスク、液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置用カラーフィルタ

発明者：
大歳 祐一

大歳 祐一 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-375913
公開番号（公開出願番号）：特開2006-184399
出願日： 2004年12月27日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：
【課題】柱状スペーサーならびにオーバーコート層を備えた液晶表示装置用カラーフィルタを製造するにあたり、製造工程の簡略化を図るための工程及びその工程に使用する露光マスクを考案し、製造コスト低減化を図った液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】液晶表示装置用カラーフィルタの柱状スペーサーとオーバーコート層を一括形成するための露光マスク用ブランクであって、ガラス基板上に紫外線透過率制御機能を有する半透過膜と紫外線遮蔽効果を有する遮光膜とが形成されており、前記半透過膜の紫外光に対する透過率は、波長300nmで5%以下、波長380nmでは45%以上であり、前記半透過膜は酸化インジウムと酸化錫との化合物膜からなるITO膜からなり、前記酸化錫が原子数比で10%以下含有されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
液晶表示装置用カラーフィルタの柱状スペーサーとオーバーコート層を一括形成するための露光マスク用ブランクであって、ガラス基板上に紫外線透過率制御機能を有する半透過膜と紫外線遮蔽効果を有する遮光膜とが形成されていることを特徴とする露光マスク用ブランク。
IPC (4件)：
G03F 1/08 ,  G02F 1/133 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
G03F1/08 A ,  G02F1/1333 505 ,  G02F1/1335 505 ,  G02F1/1339 500 ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 502P
Fターム (25件)：
2H089HA15 ,  2H089LA01 ,  2H089LA04 ,  2H089LA09 ,  2H089MA03X ,  2H089NA13 ,  2H089NA14 ,  2H089NA17 ,  2H089QA12 ,  2H089QA14 ,  2H089TA12 ,  2H090HA04 ,  2H090HB07X ,  2H090HC10 ,  2H090HC11 ,  2H090HD03 ,  2H090LA02 ,  2H090LA15 ,  2H091FA02Y ,  2H091GA08 ,  2H091LA12 ,  2H091LA30 ,  2H095BC02 ,  2H095BC24 ,  2H097LA17
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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