単結晶引下げ方法及び引下げ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：岡部正夫 , 岡部讓 , 臼井伸一 , 越智隆夫 , 吉澤弘司 , 齋藤正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-095404
公開番号（公開出願番号）：特開2010-241663
出願日： 2009年04月10日
公開日（公表日）： 2010年10月28日
要約：

【課題】坩堝に対して濡れ性に劣る原材料融液より中空状単結晶を得る方法を提供する。【解決手段】底部が閉塞された閉塞部となる円筒形状を有し、閉塞部を円筒形状の内部から外部に貫通する貫通孔11bを有する坩堝11の内部に保持された原材料7の融液8を貫通孔11bから漏出させ、貫通孔11b内形状よりも小さな外形状を有する形状制御棒12を挿通した状態で引下げ操作を行い、シードタッチのために、形状制御棒12を動作させて融液8をシードタッチ面に向けて送り込ませる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

底部が閉塞された閉塞部となる円筒形状を有し、前記閉塞部を前記円筒形状の内部から外部に貫通する貫通孔を有する坩堝、の内部に保持された原材料融液を前記貫通孔から漏出させ、漏出した前記原材料融液に、前記原材料融液が結晶化する際の結晶方位を定めるシードを接触させ、前記シードを所定の引下げ軸に沿って引き下げることによって前記シードを基点として成長する単結晶を得る単結晶の引下げ方法であって、前記貫通孔の開口部が形成される前記坩堝における開口部の形成面に対して前記シードにおける前記原材料融液との接触面を接触させ、前記貫通孔に棒状の形状制御棒の先端部を挿入した状態で、前記坩堝の内部に保持された原材料を溶融して前記原材料融液を生成し、前記形状制御棒に所定の動作を実施させて前記原材料融液を前記貫通孔に送り込み、前記貫通孔に送り込まれた前記原材料融液を前記シードの前記接触面に接触させ、前記シードを前記所定の引下げ軸に沿って引下げることを特徴とする単結晶の引下げ方法。

IPC (1件)：

C30B 15/08

FI (1件)：

C30B15/08

Fターム (19件)：

4G077AA02 , 4G077BA07 , 4G077BB00 , 4G077BE02 , 4G077CF01 , 4G077ED01 , 4G077EG01 , 4G077EG25 , 4G077EH06 , 4G077HA01 , 4G077HA02 , 4G077HA03 , 4G077HA11 , 4G077PA16 , 4G077PC02 , 4G077PD02 , 4G077PF08 , 4G077PF13 , 4G077PJ04

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-280891
特公昭48-012669
繊維状単結晶体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-308369 出願人：京セラ株式会社

全件表示

前のページに戻る