三層構造物のパターニング・アプリケーションのための組成物、コーティング、及びフィルム、並びに、これらの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：小野新次郎 , 社本一夫 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 相馬貴昌
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-551053
公開番号（公開出願番号）：特表2010-519596
出願日： 2008年02月23日
公開日（公表日）： 2010年06月03日
要約：

本明細書中には三層アプリケーションにおいて使用するための組成物が開示されており、ここで前記組成物は、マトリックスを有しており、そしてポリマーのマトリックスを形成する少なくとも1つのタイプのシリコン系部分、ポリマーのマトリックスに結合した複数のビニル基、及びポリマーのマトリックスに結合した複数のフェニル基を含むポリマー配合物;少なくとも1種の縮合触媒;並びに、少なくとも1種の溶媒;を含む。本明細書中には、さらに、有機基層(第1の層)、反射防止組成物及び/又は本発明にて意図するフィルム(第2の層)、並びに、互いに結合したフォトレジスト材料(第3の層)を含む三層構造物も意図されている。三層パターニング・アプリケーションのための組成物を製造する方法は、ポリマーのマトリックスを形成する少なくとも1つのタイプのシリコン系部分、ポリマーのマトリックスに結合した複数のビニル基、及びポリマーのマトリックスに結合した複数のフェニル基を含むポリマー配合物を供給すること;少なくとも1種の縮合触媒を供給すること;少なくとも1種の溶媒を供給すること;少なくとも1種のpH調整剤を供給すること;前記ポリマー配合物と前記少なくとも1種の溶媒の一部とを反応器中で混合して、反応性混合物を生成させること;並びに、前記少なくとも1種のpH調整剤、前記少なくとも1種の縮合触媒、及び前記少なくとも1種の溶媒の残部を反応混合物中に加えて、組成物を得ること;を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

三層アプリケーションにおいて使用するための組成物であって、該組成物が、マトリックスを有し、且つ、ポリマー配合物、ここで、該配合物は、該ポリマーのマトリックスを形成する少なくとも1つのタイプのシリコン系部分、該ポリマーのマトリックスに結合した複数のビニル基、及び該ポリマーのマトリックスに結合した複数のフェニル基を含む; 少なくとも1種の縮合触媒;並びに、少なくとも1種の溶媒; を含むことを特徴とする、前記組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/11 , G03F 7/26

FI (2件)：

G03F7/11 502 , G03F7/26 511

Fターム (27件)：

2H096AA25 , 2H096BA11 , 2H096CA06 , 2H096EA03 , 2H096EA05 , 2H096EA23 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 2H096HA23 , 2H096JA02 , 2H096JA04 , 2H096KA07 , 2H096KA18 , 2H125AC10 , 2H125AC78 , 2H125AC79 , 2H125AM80N , 2H125AM85N , 2H125AN13N , 2H125AN39N , 2H125BA01N , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125DA22 , 2H125DA23

引用特許：

審査官引用 (4件)

膜形成用ポリシロキサンの製造方法、膜形成用組成物、膜形成方法および膜
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-220088 出願人：JSR株式会社
特開平4-005658
特開平2-032356

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