特許
J-GLOBAL ID：201003073451140560

圧電振動子、圧電発振器、電子機器、及び圧電振動子の製造方法

発明者：
和田 充洋

和田 充洋 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  永田 美佐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-076055
公開番号（公開出願番号）：特開2010-232806
出願日： 2009年03月26日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：
【課題】長期的に高い信頼性を有した圧電振動子、圧電発振器、電子機器、及び圧電振動子の製造方法の提供。【解決手段】圧電振動子200は、キャビティ1を有するパッケージ110と、キャビティ1内に形成された複数の電極パッド20と、シリコーン系導電性接着剤を含み、複数の電極パッド20上に各々形成された第1接着部31及び第2接着部32により、一端を支持された圧電振動素子100と、を備え、圧電振動素子100が、互いに対向する第1面41と第2面42とを有する圧電基板40と、第1面41に形成されて第1接着部31と電気的接続の第1電極膜50aと、第2面42に形成されて第2接着部32と電気的接続の第2電極膜50bと、を有し、圧電振動素子100の第1接着部31及び第2接着部32による支持領域と、第1接着部31及び第2接着部32にて支持されていない可動領域42とで、可動領域42にフッ素樹脂膜60が形成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
キャビティを有するパッケージと、 前記キャビティ内に形成された複数の電極パッドと、 シリコーン系導電性接着剤を含み、複数の前記電極パッドの上にそれぞれ形成された第1の接着部および第2の接着部と、 前記第1の接着部および前記第2の接着部によって、一端を支持された圧電振動素子と、 を備え、 前記圧電振動素子が、 互いに対向する第1の面と第2の面とを有する圧電基板と、 前記第1の面に形成され、前記第1の接着部と電気的に接続された第1の電極膜と、 前記第2の面に形成され、前記第2の接着部と電気的に接続された第2の電極膜と、 を有し、 前記圧電振動素子の前記第1の接着部および前記第2の接着部により支持された領域を支持領域とし、前記第1の接着部および前記第2の接着部により支持されていない領域を可動領域としたとき、 前記可動領域にフッ素樹脂膜が形成された、圧電振動子。
IPC (8件)：
H03H 9/19 ,  H03B 5/32 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/02 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (9件)：
H03H9/19 D ,  H03B5/32 H ,  H03H3/04 B ,  H03H9/02 K ,  H03H3/02 C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (37件)：
5J079AA04 ,  5J079BA39 ,  5J079BA43 ,  5J079FA01 ,  5J079HA03 ,  5J079HA07 ,  5J079HA09 ,  5J079HA14 ,  5J079HA22 ,  5J079HA25 ,  5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108DD02 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108FF05 ,  5J108FF08 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108GG09 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108GG20 ,  5J108GG21 ,  5J108HH03 ,  5J108HH04 ,  5J108HH05 ,  5J108KK05 ,  5J108KK07 ,  5J108MM11 ,  5J108NA02 ,  5J108NB06
引用特許：
審査官引用 (4件)
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