特許
J-GLOBAL ID:201003074407080742
圧電セラミック材料及びアクチュエータ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
磯野 道造
, 多田 悦夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-223148
公開番号(公開出願番号):特開2010-062174
出願日: 2008年09月01日
公開日(公表日): 2010年03月18日
要約:
【課題】圧電特性を向上させた圧電セラミック材料と、この圧電セラミック材料を用いてなるアクチュエータを提供する。【解決手段】圧電セラミック材料10は、平均径が4〜150nmの空孔12が略均一に分散した圧電性結晶粒子11からなる。空孔12の平均径は、好ましくは、65〜105nmである。また、圧電性結晶粒子11の任意断面における空孔12の面積は、好ましくは、任意断面の全面積の6.5〜12%である。圧電セラミック材料10は、積層型圧電アクチュエータ等に好適である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
平均径が4〜150nmの空孔が略均一に分散した圧電性結晶粒子からなることを特徴とする圧電セラミック材料。
IPC (5件):
H01L 41/187
, C04B 35/00
, H01L 41/083
, H01L 41/24
, H01L 41/22
FI (5件):
H01L41/18 101B
, C04B35/00 J
, H01L41/08 S
, H01L41/22 A
, H01L41/22 Z
Fターム (12件):
4G030AA04
, 4G030AA20
, 4G030BA10
, 4G030CA04
, 4G030CA08
, 4G030GA03
, 4G030GA04
, 4G030GA08
, 4G030GA10
, 4G030GA14
, 4G030GA22
, 4G030GA27
引用特許: