特許
J-GLOBAL ID：201003074457979487
暗視野欠陥検査方法、暗視野欠陥検査装置、収差解析方法及び収差解析装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-259488
公開番号（公開出願番号）：特開2010-190885
出願日： 2009年11月13日
公開日（公表日）： 2010年09月02日
要約：
【課題】照明系と検出系、温度・気圧と言った環境をモニタリングする情報収集機能、モニタリング結果と設計値、理論計算値もしくはシミュレーション結果により導出した理想値を比較しモニタリング結果と理想値を近づけるように装置を較正するフィードバック機能を有する装置状態管理機能、を含むことで、装置状態及び装置感度を一定に保つ手段を提供する。【解決手段】制御部800を記録部801、比較部802、感度予測部803、フィードバック制御部804、を含む構成とする。比較部802において、記録部801から送信されたモニタリング結果とデータベース805に格納された理想値を対比する。理想値とモニタリング結果との差分が所定の閾値を越えた場合には、フィードバック制御部804が照明系と検出系の補正を行う。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被検査物の表面を照明する照明光により前記被検査物表面から生じる散乱光の信号を検出系の第1のセンサで取得し、前記第1のセンサが取得した信号に基づき前記被検査物上の異物や欠陥を検出する暗視野欠陥検査方法であって、
前記照明光の強度分布と偏光状態分布のいずれか又は双方を計測する照明光モニタリングステップと、
前記検出系に入力された光を第2のセンサにより検出することで検出レンズの結像特性及び前記被検査物を載置するステージ動作状態を検出する検出系モニタリングステップと、
前記照明光モニタリングステップと前記検出系モニタリングステップの検出結果と理想値とを比較し、それぞれの前記検出結果と前記理想値との差分が許容値以下となるよう前記照明光と前記検出系のいずれか又は双方を調整するフィードバック制御ステップと、を含むことを特徴とする暗視野欠陥検査方法。
IPC (4件)：
G01N 21/956
, G01N 21/93
, G01N 21/95
, G01M 11/02
G01N21/956 A
, G01N21/93
, G01N21/95 A
, G01M11/02 B
2G051AA51
, 2G051AA71
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051BA10
, 2G051BA11
, 2G051BB05
, 2G051CA04
, 2G051CB05
, 2G051CC07
, 2G051DA05
, 2G051EA23
, 2G051EB01
, 2G051EC00
, 2G051FA01
, 2G086HH06
出願人引用 (2件)
審査官引用 (1件)
-
欠陥検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2006-068479
出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
前のページに戻る
