特許

J-GLOBAL ID：201003075467247146

画像検査方法および画像検査装置

発明者： 田邉 志功
出願人/特許権者： 株式会社山武
代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-260434
公開番号（公開出願番号）：特開2010-091361
出願日： 2008年10月07日
公開日（公表日）： 2010年04月22日
要約：

【課題】様々な欠陥を含む可能性がある検査対象であっても、高精度の検査を実現する。【解決手段】画像検査装置は、検査対象を撮影するCCDカメラ3と、検査対象を撮影して得られた検査画像に存在するパターンの輪郭を抽出する輪郭抽出部403と、輪郭抽出部403によって得られた2値化画像においてパターンの輪郭を表す画素のうち、連結した画素の集まりを1つの連結成分とみなし、同一の連結成分の各画素に同一のラベルを与えることにより、連結した輪郭を抽出するラベリング処理部404と、ラベリング処理部404で抽出された連結した輪郭の数を数える計測部405と、計測部405で得られた輪郭の数と予め良品と判定された検査画像から求めた連結した輪郭の数とを比較して、検査対象の良否判定を行う判定部406とを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

検査対象を撮影して得られた検査画像に存在するパターンの輪郭を抽出する輪郭抽出手順と、 この輪郭抽出手順によって得られた2値化画像においてパターンの輪郭を表す画素のうち、連結した画素の集まりを1つの連結成分とみなし、同一の連結成分の各画素に同一のラベルを与えることにより、連結した輪郭を抽出するラベリング処理手順と、 このラベリング処理手順で抽出された連結した輪郭の数を数える計測手順と、 この計測手順で得られた輪郭の数と予め良品と判定された検査画像から求めた連結した輪郭の数とを比較して、検査対象の良否判定を行う判定手順とを備えることを特徴とする画像検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (26件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AB03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA09 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051ED03 ,  2G051ED04 ,  2G051ED08 ,  2G051FA03 ,  2G051FA04 ,  4M106AA01 ,  4M106CA46 ,  4M106DB04 ,  4M106DB20 ,  4M106DJ13 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ27

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体基板のクラックの有無を検査する表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-330987   出願人：株式会社岡本工作機械製作所