特許

J-GLOBAL ID：201003077154126391

固体撮像素子

発明者： 駒井 敦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-206471
公開番号（公開出願番号）：特開2010-045083
出願日： 2008年08月09日
公開日（公表日）： 2010年02月25日
要約：

【課題】クロストークを低減し、しかも製造を容易にする。【解決手段】複数のフォトダイオード16が所定領域に渡って配置される。複数層の金属配線層50〜52が、前記所定領域のうち複数のフォトダイオード16の有効受光領域以外の領域に全体的又は部分的に形成される。遮光膜30が、前記所定領域のうち複数のフォトダイオード16の有効受光領域以外の前記領域に全体的又は部分的に形成される。遮光膜30は、複数層の金属配線層50〜52のうちの最下層の金属配線層50よりも低くかつ複数のフォトダイオード16の表面よりも高い位置に位置する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

所定領域に渡って配置された複数の光電変換部と、 前記所定領域のうち前記複数の光電変換部の有効受光領域以外の領域に形成された複数層の金属配線層と、 前記有効受光領域以外の前記領域に形成され、前記複数層の金属配線層のうちの最下層の金属配線層と前記光電変換部表面との間に配置された遮光膜と、 を備えたことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/146

FI (2件)：

H01L27/14 D ,  H01L27/14 A

Fターム (20件)：

4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA03 ,  4M118CA32 ,  4M118DD04 ,  4M118DD12 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118EA15 ,  4M118FA26 ,  4M118FA28 ,  4M118FA33 ,  4M118GB06 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GB12 ,  4M118GB15 ,  4M118GB19

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-241435   出願人：日本ビクター株式会社