特許
J-GLOBAL ID:201003080605856888
フィルム表面欠陥検査装置、フィルム表面欠陥検査方法及び光学フィルムの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-102823
公開番号(公開出願番号):特開2010-256021
出願日: 2009年04月21日
公開日(公表日): 2010年11月11日
要約:
【課題】フィルムを搬送しながら連続して、微小な膜厚ムラを正確に検出できるフィルム表面の欠陥検査装置、該検査方法及び光学フィルムの製造方法を提供すること。【解決手段】明暗パターンをフィルムの表面に反射させ、撮像手段で撮像した反射画像と明暗パターンとを比較することでフィルム表面の欠陥を検査する装置において、フィルムの反射面の中心位置と撮像手段との反射面に平行な距離をL、撮像手段の水平視野距離を撮像手段の水平画素数で割った画素分解能をδとしたとき、450mm≦L≦1000mm、0.1mm≦δ≦0.5mmであること。【選択図】図4
請求項(抜粋):
フィルムの表面を反射面として、
明暗パターンを反射させ、反射したパターン形状の歪みにより前記フィルムの表面上の欠陥を検出するフィルム表面欠陥検査装置において、
明暗パターンを表示できる表示手段と、
前記明暗パターンを前記フィルムの表面に反射させた画像を撮影する撮像手段と、
該撮像手段により撮影した反射画像と前記明暗パターンとを比較する比較手段と、
を備え、
前記フィルムの反射面の中心位置と前記撮像手段との前記反射面に平行な距離をL、
前記撮像手段の水平視野距離を前記撮像手段の水平画素数で割った画素分解能をδとしたとき、
450mm≦L≦1000mm
0.1mm≦δ≦0.5mm
であることを特徴とするフィルム表面欠陥検査装置。
IPC (3件):
G01B 11/30
, G01N 21/892
, G01B 11/06
FI (3件):
G01B11/30 A
, G01N21/892 A
, G01B11/06 101H
Fターム (24件):
2F065AA30
, 2F065AA49
, 2F065BB01
, 2F065CC02
, 2F065FF04
, 2F065FF08
, 2F065FF42
, 2F065HH06
, 2F065HH07
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065MM03
, 2F065PP16
, 2F065QQ24
, 2F065RR09
, 2F065SS14
, 2G051AA41
, 2G051AB07
, 2G051AC21
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051DA06
, 2G051DA15
引用特許:
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