特許
J-GLOBAL ID：200903021446438924
表面凹凸の検査方法および検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-156340
公開番号（公開出願番号）：特開2005-337857
出願日： 2004年05月26日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：
【課題】フィルム表面、鋼板表面、ガラス面、塗装面、蒸着面などの光沢面に発生する凹凸欠陥を光学的に検出するに際し、被検査対象物から得られた撮像画像が含む輝度ムラによる誤検出の発生を低減でき、また被検査対象物に見込まれる欠陥の凹凸状態による撮像画像に現れる光学的影響が大きくなるよな表面凹凸の検査方法および検査装置を提供すること。 【解決手段】表面が所定の周期的明暗パターンの輝度を有する基準表面Slの、被検査物の被検査表面Sにおける正反射像を撮像手段によって撮像し、得られた前記正反射像のパターン形状歪みから前記被検査表面S上の筋状凹凸を検出するに際し、上記各要素の位置関係等を所定の関係式を満たすように構成する。【選択図】 図3(a)
請求項（抜粋）：
表面が所定の周期的明暗パターンの輝度を有する基準表面Slの、被検査物の被検査表面Sにおける正反射像を撮像手段によって撮像し、得られた前記正反射像のパターン形状歪みから前記被検査表面S上の筋状凹凸を検出する表面凹凸の検出方法であって、被検査表面Sの法線Zおよび前記撮像手段の視線方向Iのなす角度をφとするときに、
前記法線Zおよび前記視線方向Iを含む平面S0および前記基準表面Slの交線CL2に垂直な基準ベクトルqの方向が前記周期的パターンの周期的変化の方向Hvと同方向の移動ベクトルiに対して成す角ψが次の式1を満たし、前記周期的パターンの周期的変化の方向Hvに垂直な方向Hhと前記基準表面Slを含む無限大の平面と前記比検査表面Sとの交線とがなす角θが次の式2を満たすよう前記基準表面と前記撮像手段とを設置することを特徴とする表面凹凸の検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/30 Z
, G01N21/88 J
2F065AA49
, 2F065BB01
, 2F065BB25
, 2F065CC02
, 2F065CC06
, 2F065CC31
, 2F065DD04
, 2F065FF01
, 2F065FF07
, 2F065FF42
, 2F065FF61
, 2F065HH06
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065QQ03
, 2F065RR06
, 2F065SS03
, 2F065TT02
, 2F065UU05
, 2G051AB07
, 2G051AB20
, 2G051BB01
, 2G051CA04
, 2G051CA06
, 2G051EA12
, 2G051EA16
