特許
J-GLOBAL ID：201003080706231994

パターン化導体、半導体及び誘電体材料のための印刷処理

発明者：
シャー, エリック

シャー, エリック について

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カマス, アーヴィンド

カマス, アーヴィンド について

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ロッケンバーガー, ジョーグ

ロッケンバーガー, ジョーグ について

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森 育雄

森 育雄 について

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モレサ, スティーヴン

モレサ, スティーヴン について


出願人/特許権者：
コヴィオ インコーポレイテッド

コヴィオ インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 山田 行一 ,  野田 雅一 ,  池田 成人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-506708
公開番号（公開出願番号）：特表2010-526445
出願日： 2008年05月03日
公開日（公表日）： 2010年07月29日
要約：
実施形態は、材料の前駆体を含有するインクから形体を印刷することに関する。該材料には、電気的活性な材料、例えば、半導体、金属、又はそれらの組合せのほか、誘電体を含む。該実施形態は印刷されるライン又はその他の形体の形状、輪郭及び寸法をより正確に制御できる改善された印刷工程条件を提供する。該組成物(複数可)及び/又は方法(複数可)は、インク中の成分の粘度及び質量負荷を増大させてピンニング制御を改善する。典型的な方法は、従って、材料の前駆体と溶媒とを含むインクを該基板上にパターンとして印刷するステップと、該前駆体を前記パターンとして沈殿させてピンニングラインを形成するステップと、該ピンニングラインによって画定されている該材料の前駆体の形体を形成するために、該溶媒を十分に蒸発させるステップと、該材料の前駆体を該パターン化材料に転化するステップとを含む。【選択図】図1B
請求項（抜粋）：
a)1から40重量%までの量の(ポリ)シラン類、(ポリ)ゲルマン類、(ポリ)ゲルマシラン類、並びにシリコン及び/又はゲルマニウムのナノ粒子からなる群から選択される1つ又は複数の半導体の前駆体であって、前記(ポリ)シラン類、(ポリ)ゲルマン類、及び(ポリ)ゲルマシラン類が、(i)少なくとも15個のシリコン及び/又はゲルマニウム原子、並びに(ii)水素を有する化学種から本質的になる前駆体と b)該1つ又は複数の半導体の前駆体を溶解できる溶媒とを含み、2から100cPまでの粘度を有する組成物。
IPC (4件)：
H01L 21/208 ,  H01L 21/288 ,  H01L 21/316 ,  C01B 33/02
FI (4件)：
H01L21/208 Z ,  H01L21/288 Z ,  H01L21/316 G ,  C01B33/02 D
Fターム (42件)：
4G072AA01 ,  4G072BB09 ,  4G072BB12 ,  4G072BB13 ,  4G072GG03 ,  4G072HH28 ,  4G072RR26 ,  4G072UU01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB36 ,  4M104DD22 ,  4M104DD51 ,  4M104DD78 ,  4M104DD81 ,  5F053AA01 ,  5F053AA03 ,  5F053AA06 ,  5F053BB09 ,  5F053DD01 ,  5F053DD20 ,  5F053FF01 ,  5F053GG02 ,  5F053GG03 ,  5F053HH01 ,  5F058BC02 ,  5F058BC03 ,  5F058BF46 ,  5F058BF47 ,  5F058BH01 ,  5F058BH17
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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