特許
J-GLOBAL ID：201003081397708558
剥離装置及び剥離方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人青莪
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-040501
公開番号（公開出願番号）：特開2010-199184
出願日： 2009年02月24日
公開日（公表日）： 2010年09月09日
要約：
【課題】ウエハ等の第1の板状部材に両面接着シートを介して第2の板状部材が接着された処理対象物から第2の板状部材を剥離する場合に、第1及び第2の各板状部材の破損を招来することなく、確実な剥離を行い得る剥離装置を提供する。【解決手段】 第1の板状部材W1の一方の面に両面接着シートSを介して第2の板状部材W2が接着された処理対象物Wから第2の板状部材W2を剥離する剥離装置PMにおいて、処理対象物Wを第1の板状部材W1側から支持する支持手段1と、支持手段1側から第2の板状部材W2または両面接着シートSを突き上げて処理対象物Wから第2の板状部材W2を剥離する剥離手段と、第2の板状部材W2に当接して前記処理対象物Wから当該第2の板状部材W2が剥離される剥離領域を制限する剥離制限手段4とを備える。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
第1の板状部材の一方の面に両面接着シートを介して第2の板状部材が接着された処理対象物から当該第2の板状部材を剥離する剥離装置において、
前記処理対象物を第1の板状部材側から支持する支持手段と、
前記支持手段側から第2の板状部材または両面接着シートを突き上げて処理対象物から少なくとも第2の板状部材を剥離する剥離手段と、
前記第2の板状部材に当接して前記処理対象物から当該第2の板状部材が剥離される剥離領域を制限する剥離制限手段とを備えることを特徴とする剥離装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031HA78
, 5F031MA38
