特許

J-GLOBAL ID：201003083536461786

蒸着源、成膜装置および成膜方法

発明者： 生田 浩之 ,  周藤 賢治 ,  吹上 紀明 ,  江面 知彦 ,  鎌田 豊弘
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (3件)： 亀谷 美明 ,  金本 哲男 ,  萩原 康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-164730
公開番号（公開出願番号）：特開2010-007101
出願日： 2008年06月24日
公開日（公表日）： 2010年01月14日
要約：

【課題】材料容器内の材料の充填密度を高める。【解決手段】蒸着源100は、有機材料maを収納する材料容器110と、材料容器110に収納された有機材料maを加熱するヒータ105と、複数の貫通孔が形成された平板115aを有し、平板115aの押圧面115a1により材料容器110に収納された有機材料maを押圧しながら、ヒータ105の加熱により気化した有機分子を複数の貫通孔に通す押圧部材115と、弾性力を用いて押圧部材115による有機材料maへの押力を緩和するベローズ120とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

材料を収納する材料容器と、 前記材料容器に収納された材料を加熱する加熱部材と、 複数の貫通孔が形成された平板を有し、前記平板の押圧面により前記材料容器に収納された材料を押圧しながら、前記加熱部材の加熱により気化した材料分子を前記複数の貫通孔に通す押圧部材と、 弾性力を用いて前記押圧部材による材料への押力を緩和する弾性部材と、を備える蒸着源。

IPC (4件)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (4件)：

C23C14/24 A ,  C23C14/12 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (11件)：

3K107AA01 ,  3K107CC45 ,  3K107FF16 ,  3K107GG04 ,  3K107GG05 ,  3K107GG32 ,  3K107GG34 ,  4K029BA62 ,  4K029DA05 ,  4K029DB06 ,  4K029DB12

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 有機蒸着方法及び有機蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-146182   出願人：株式会社アルバック