特許
J-GLOBAL ID：200903020720202707

有機蒸着方法及び有機蒸着装置

発明者：
羽根 功二

羽根 功二 について

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岡田 俊弘

岡田 俊弘 について

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中村 久三

中村 久三 について

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砂賀 芳雄

砂賀 芳雄 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (2件)： 阿部 英樹 ,  石島 茂男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-146182
公開番号（公開出願番号）：特開2005-325425
出願日： 2004年05月17日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：
【課題】蒸発源の位置に起因する蒸発レートの変動を防止することによって精確な成膜速度の制御を達成可能な有機蒸着方法及び装置を提供する。 【解決手段】本発明の有機蒸着装置は、真空槽2と、真空槽2内において待機位置と成膜位置との間を移動するように構成された有機材料用の蒸発源3と、待機位置において蒸発源3から蒸発する蒸気の蒸発レートを測定するための膜厚センサ50とを備え、膜厚センサ50において得られた結果に基づいて蒸発源3における蒸発レートを制御しつつ、有機蒸発材料を基板5上に蒸着させるように構成されている。マスク6と同等の輻射率の材料からなる防着部材7をマスク6とほぼ同じ高さに配置するとともに、防着部材7を冷却してマスク6の温度に近づけ、蒸発源3の蒸気放出部分近傍の輻射熱損失を待機時と成膜時において同等のものとする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空中で蒸発源内の有機蒸発材料を蒸発させ、前記蒸発源を待機させながら当該有機蒸発材料の蒸発レートを測定し、その測定結果に基づいて前記蒸発源における蒸発レートを制御しつつ前記蒸発源を移動させながら成膜対象物に対して蒸着を行う有機蒸着方法であって、 前記蒸発源の蒸気放出部分近傍の輻射熱損失が、待機時と成膜時において同等となるようにした有機蒸着方法。
IPC (4件)：
C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (5件)：
C23C14/24 U ,  C23C14/24 C ,  C23C14/12 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (9件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA11 ,  4K029BA62 ,  4K029BC00 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB11
引用特許：
審査官引用 (2件)

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