特許

J-GLOBAL ID：201003086415928180

光学反射素子

発明者： 寺田 二郎 ,  平岡 聡一郎 ,  中園 晋輔 ,  古川 成男 ,  堀江 寿彰 ,  山本 雄大 ,  多田 真樹 ,  小牧 一樹
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  内藤 浩樹 ,  永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-041943
公開番号（公開出願番号）：特開2010-197662
出願日： 2009年02月25日
公開日（公表日）： 2010年09月09日
要約：

【課題】本発明は、光学反射素子の損傷を抑制することを目的とする。【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部1と、このミラー部1と第一梁2を介して連結され、この第一梁2およびミラー部1の外周を囲う可動枠3と、この可動枠3と第二梁4を介して連結された支持体5と、第一梁2および第二梁4のそれぞれの中心軸を中心にミラー部1を反復回転振動させる駆動手段と、可動枠3のX軸方向またはY軸方向の少なくとも一方の振動を抑制する抑制手段とを備えたものとした。これにより本発明は、可動枠3の過剰な振幅を抑制でき、結果として光学反射素子の損傷を抑制できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ミラー部と、このミラー部と第一梁を介して連結され、この第一梁および前記ミラー部の外周を囲う可動枠と、 この可動枠と第二梁を介して連結された支持体とを備え、 前記第一梁はY軸方向の中心軸を有し、第二梁はX軸方向の中心軸を有し、 これらの中心軸を中心に前記ミラー部を反復回転振動させる駆動手段と、 前記可動枠のX軸方向またはY軸方向の少なくとも一方の振幅を抑制する抑制手段とが設けられた光学反射素子。

IPC (4件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  H04N 1/036 ,  H02N 2/00

FI (4件)：

G02B26/10 104Z ,  G02B26/08 E ,  H04N1/036 Z ,  H02N2/00 B

Fターム (38件)：

2H045AB06 ,  2H045AB08 ,  2H045AB13 ,  2H045AB16 ,  2H045AB24 ,  2H045AB38 ,  2H045AB43 ,  2H045AB62 ,  2H045AB73 ,  2H045AB81 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC04 ,  2H141MC06 ,  2H141MC09 ,  2H141MD13 ,  2H141MF03 ,  2H141MF05 ,  2H141MF28 ,  2H141MG04 ,  2H141MG06 ,  2H141MG07 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ25 ,  2H141MZ28 ,  2H141MZ29 ,  2H141MZ30 ,  5C051AA02 ,  5C051CA06 ,  5C051DB02 ,  5C051DB24 ,  5C051DB28 ,  5C051DC02 ,  5C051DC04 ,  5C051DC05 ,  5C051DC07 ,  5C051DE26

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 光偏向器及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-215778   出願人：スタンレー電気株式会社