特許
J-GLOBAL ID：200903054607946149
光偏向器及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
佐藤 辰彦
, 堀 進
, 鷺 健志
, 本間 賢一
, 加賀谷 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-215778
公開番号（公開出願番号）：特開2008-040240
出願日： 2006年08月08日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
【課題】小型で、且つ偏向角を広範囲で容易に制御可能な光偏向器及びその製造方法を提供する。【解決手段】光偏向器11は、反射面13を有するミラー部12と、ミラー部12を駆動する少なくとも1つの圧電アクチュエータ1とを備えて構成される。圧電アクチュエータ1は、支持体3及び支持体3上に形成された圧電体5A,5Bを有し圧電駆動により屈曲変形を行う複数の圧電カンチレバー2A,2Bを含むと共に、該複数の圧電カンチレバーの圧電体5A,5Bにそれぞれ駆動電圧を印加するための複数の電極7A,7B,7C,9,4A,4B,6A,6Bを独立に備える。複数の圧電カンチレバー2A,2Bは、各々の屈曲変形を累積するように端部が機械的に連結され、該駆動電圧の印加により各圧電カンチレバー2A,2Bが独立に屈曲変形される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
反射面を有するミラー部と、該ミラー部を駆動する少なくとも1つの圧電アクチュエータとを備えて構成される光偏向器において、
前記圧電アクチュエータは、支持体及び該支持体上に形成された圧電体を有し圧電駆動により屈曲変形を行う複数の圧電カンチレバーを含むと共に、該複数の圧電カンチレバーの圧電体にそれぞれ駆動電圧を印加するための複数の電極を独立に備え、
該複数の圧電カンチレバーは各々の屈曲変形を累積するように端部が機械的に連結され、前記駆動電圧の印加により各圧電カンチレバーが独立に屈曲変形されることを特徴とする光偏向器。
IPC (6件)：
G02B 26/10
, G02B 26/08
, G03B 21/00
, G03B 21/14
, B81B 3/00
, B81C 1/00
G02B26/10 F
, G02B26/08 E
, G02B26/10 104Z
, G02B26/10 C
, G03B21/00 D
, G03B21/14 Z
, B81B3/00
, B81C1/00
2H041AA12
, 2H041AC08
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
, 2H045AB06
, 2H045AB10
, 2H045AB13
, 2H045AB38
, 2H045AB73
, 2H045BA13
, 2H045CB65
, 2H045DA02
, 2H045DA41
, 2K103AA07
, 2K103AA14
, 2K103AB07
, 2K103AB10
, 2K103BB05
, 2K103CA25
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (3件)
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