特許

J-GLOBAL ID：201003086627095790

ノズルプレートの検査装置およびノズルプレートの検査方法

発明者： 佐藤 誠
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 落合 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-315414
公開番号（公開出願番号）：特開2010-139357
出願日： 2008年12月11日
公開日（公表日）： 2010年06月24日
要約：

【課題】短時間でCCDカメラのフォーカシングを行うことができるノズルプレートの検査装置およびノズルプレートの検査方法を提供することである。【解決手段】マザープレート1がセットされるセットステージ12と、セットステージ12を介してマザープレート1を移動させる移動テーブル13と、各ノズル孔3のメニスカス形成部8にフォーカシングし、画像認識するCCDカメラ14と、各ノズル孔3内部を照明する透過照明17と、CCDカメラ14とマザープレート1の表面との距離を計測するレーザ変位計15と、これら装置を制御する制御装置18と、を備え、制御装置18は、各ノズル孔3の近傍における距離およびマザープレート1の移動量から、各ノズル孔3の位置情報および各ノズル孔3に対するフォーカシングの距離情報を取得し、取得情報に基づいて、各ノズル孔3の内部を連続的に画像認識して、異物43の有無を検査するものである。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

インクジェットヘッドに組み込まれるノズルプレートの複数のノズル孔を、そのノズル列方向に連続的に検査するノズルプレートの検査装置であって、 前記ノズルプレートがセットされるセットステージと、 前記セットステージを介して、前記ノズルプレートを前記ノズル列方向に移動させる移動テーブルと、 前記各ノズル孔に対し、前記ノズルプレートの表面から所定の深さ位置にフォーカシングして、前記各ノズル孔の内部を画像認識する画像認識手段と、 前記ノズルプレートの裏面から前記各ノズル孔の内部を照明する透過照明と、 前記画像認識手段と前記ノズルプレートの表面との距離を計測するレーザ変位計と、 前記移動テーブル、前記画像認識手段、前記透過照明および前記レーザ変位計を制御する制御手段と、を備え、 前記制御手段は、前記ノズル列方向に移動する前記ノズルプレートの各ノズル孔の近傍における前記距離を計測し、この計測結果と前記ノズルプレートの移動量とに基づいて、前記各ノズル孔の位置情報および前記各ノズル孔に対する前記フォーカシングの距離情報とを取得し、前記位置情報および前記距離情報に基づいて、前記ノズル列方向に移動する前記ノズルプレートにおける前記各ノズル孔の内部を連続的に画像認識して、異物の有無をそれぞれ検査することを特徴とするノズルプレートの検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/88

FI (1件)：

G01N21/88 Z

Fターム (10件)：

2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB20 ,  2G051AC21 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051DA05 ,  2G051EA12 ,  2G051ED21

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 外観検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-293632   出願人：セイコーエプソン株式会社