特許
J-GLOBAL ID：201003089272442590
テープ拡張方法およびテープ拡張装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-324094
公開番号（公開出願番号）：特開2010-147316
出願日： 2008年12月19日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：
【課題】環状のフレームにテープを介して支持したワークを、テープを拡張して複数のチップに分割した後、テープの弛み領域を加熱して収縮させる際に、製品チップの周囲の部分は収縮させずに収縮が許容される領域を適確に収縮させる。【解決手段】ウェーハ保持テーブル30に載置したテープ6を待機位置から拡張位置に位置付けて拡張し、ウェーハ1を多数のチップ3に分割した状態で、テープ6の少なくとも製品チップ3aの全てに対応する領域を吸着部32の保持領域33で保持してから、テープ6を待機位置に戻す。拡張によって弛みが生じている弛み領域6aをヒータ53で加熱して収縮させる。分割した製品チップ3a間のテープ6は収縮させず、製品チップ3a間の隙間を確保する。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
環状のフレームと、該フレームの開口部に配置される複数のチップが形成されたワークとに貼着され、該ワークを該フレームに支持させるテープを拡張した後、該テープにおける前記フレームの内縁と前記ワークの外縁との間の弛み領域を収縮させるテープ拡張方法であって、
前記チップは、製品として使用される複数の製品チップと、該製品チップを囲繞して配設された製品として使用されない余剰チップとを備えており、
該テープ拡張方法は、
前記テープを、待機位置から、該テープを拡張する拡張位置に位置付けて拡張するテープ拡張工程と、
該テープを前記拡張位置に位置付けて拡張した状態で、該テープの前記弛み領域は保持せず、かつ、該ワークに対応する領域のうち少なくとも前記製品チップの全てに対応する領域を保持するテープ保持工程と、
該テープを、前記待機位置に位置付けて前記弛み領域を弛ませた状態としてから、該弛み領域に外的刺激を付与してテープを収縮させるテープ収縮工程と、を含むことを特徴とするテープ拡張方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (3件)
審査官引用 (1件)
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エキスパンド方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-338795
出願人：株式会社東京精密
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