欠陥検出装置及び欠陥検出方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：宮崎昭夫 , 石橋政幸 , 緒方雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-218036
公開番号（公開出願番号）：特開2010-054273
出願日： 2008年08月27日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：

【課題】透光性を有する材料を含む板状体の内部に存在する欠陥を、高精度に検出することを可能にする。【解決手段】板状体2の欠陥を検出する欠陥検出装置は、透光性を有する材料を含んだ板状体2の一の面33に光を入射させる投光装置5と、板状体2で反射した光の反射光を用いて板状体2を撮像する撮像装置3と、を有している。そして、投光装置5から出射した光の光路上に光透過率が92%以下の拡散体6が配置されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

透光性を有する材料を含んだ板状体に光を入射させる投光手段と、前記板状体で反射した前記光の反射光を用いて前記板状体を撮像する撮像手段と、を有し、前記板状体の欠陥を検出する欠陥検出装置において、前記投光手段から出射する前記光の光路上に光透過率が92%以下の拡散体が配置されていることを特徴とする、欠陥検出装置。

IPC (2件)：

G01N 21/958 , G01B 11/30

FI (2件)：

G01N21/958 , G01B11/30 Z

Fターム (39件)：

2F065AA49 , 2F065BB01 , 2F065BB22 , 2F065BB23 , 2F065DD03 , 2F065DD04 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065GG02 , 2F065HH02 , 2F065HH05 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL12 , 2F065LL22 , 2F065LL30 , 2F065LL49 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065QQ03 , 2F065QQ04 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 2F065QQ31 , 2G051AA42 , 2G051AB02 , 2G051BB01 , 2G051BB07 , 2G051CA06 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051DA06 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EC01 , 2G051GC04 , 2G051GD01

引用特許：

出願人引用 (2件)

表面欠陥検出方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-107282 出願人：日本板硝子株式会社
特開平4-305144号公報

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