特許

J-GLOBAL ID：201003089591502538

液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子

発明者： 両角 浩一 ,  加藤 治郎 ,  傳田 聡 ,  朝岡 一郎
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-182384
公開番号（公開出願番号）：特開2010-017984
出願日： 2008年07月14日
公開日（公表日）： 2010年01月28日
要約：

【課題】圧電体層の破壊を防止して、耐久性を向上した圧電素子を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子300とを具備し、該圧電素子300が、第1電極60と、該第1電極60上に形成された圧電体層70と、該圧電体層70の前記第1電極60とは反対側に形成された第2電極80とで構成されており、前記第1電極60が、酸化イリジウムを主成分とする拡散防止層64を有すると共に、該拡散防止層64には、厚さ方向に貫通して酸化イリジウム以外の材料が充填された応力緩和孔64aが設けられている。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備し、 該圧電素子が、第1電極と、該第1電極上に形成された圧電体層と、該圧電体層の前記第1電極とは反対側に形成された第2電極とで構成されており、 前記第1電極が、酸化イリジウムを主成分とする拡散防止層を有すると共に、該拡散防止層には、厚さ方向に貫通して酸化イリジウム以外の材料が充填された応力緩和孔が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。

IPC (7件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  B41J 2/16

FI (7件)：

B41J3/04 103A ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103H

Fターム (11件)：

2C057AF65 ,  2C057AG12 ,  2C057AG33 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-370580   出願人：セイコーエプソン株式会社