特許
J-GLOBAL ID：200903086007139311
圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-370580
公開番号（公開出願番号）：特開2007-173604
出願日： 2005年12月22日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】優れた圧電特性を得ることができる圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】基板110上に下電極60を形成する工程と、前記下電極60上に圧電材料からなる圧電体前駆体膜71を形成して、該圧電体前駆体膜71を焼成して結晶化させた圧電体膜72からなる圧電体層70を形成する工程と、前記圧電体層70上に上電極を形成する工程とを具備し、前記下電極60を形成する工程では、最下層に密着層61を形成する工程と、白金からなる白金層62をX線回折広角法による(111)面半価幅が0.46度以上で形成する工程と、最上層に拡散防止層63を形成する工程とを有し、且つ前記圧電体層70を形成する工程では、前記圧電体前駆体膜71を昇温レート50°C/sec以上で焼成する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板上に下電極を形成する工程と、前記下電極上に圧電材料からなる圧電体前駆体膜を形成して、該圧電体前駆体膜を焼成して結晶化させた圧電体膜からなる圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に上電極を形成する工程とを具備し、
前記下電極を形成する工程では、最下層に密着層を形成する工程と、白金からなる白金層をX線回折広角法による(111)面半価幅が0.46度以上で形成する工程と、最上層に拡散防止層を形成する工程とを有し、
且つ前記圧電体層を形成する工程では、前記圧電体前駆体膜を昇温レート50°C/sec以上で焼成することを特徴とする圧電素子の製造方法。
IPC (7件)：
H01L 41/22
, B41J 2/055
, B41J 2/045
, B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
H01L41/22 Z
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101Z
, H01L41/08 L
2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG44
, 2C057AG47
, 2C057AG94
, 2C057AP02
, 2C057AP16
, 2C057AP22
, 2C057AP24
, 2C057AP33
, 2C057AP34
, 2C057AP52
, 2C057AP56
, 2C057AP57
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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