露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川吉雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-256965
公開番号（公開出願番号）：特開2010-087388
出願日： 2008年10月02日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：

【課題】半導体や液晶等の製造に用いる露光装置において、紫外線等の光を放射する放電ランプにレーザ光を用いて高いエネルギーを供給する場合、放電容器に穴を開けることなく、発生した光を効率的に利用できる光学系を備えた露光装置を提供する。【解決手段】紫外線を放射する光源と、該光源にエネルギーを供給するレーザ光を入射するためのレーザ装置と、該光源から放射された紫外線を反射する楕円反射鏡と、該楕円反射鏡の第一焦点に配置された該光源から放射された光を該楕円反射鏡で反射し、コリメータレンズ、インテグレータレンズ、を含む光学素子を介して被照射物に照射する光学系と、を有する露光装置において、該光源に対して該楕円反射鏡の開口側からレーザ光を入射するために、該楕円反射鏡によって反射された光の光路中に波長選択機能を有するビームスプリッターを設けたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

紫外線を放射する光源と、該光源にエネルギーを供給するレーザ光を入射するためのレーザ装置と、該光源から放射された紫外線を反射する楕円反射鏡と、該楕円反射鏡の第一焦点に配置された該光源から放射された光を該楕円反射鏡で反射し、コリメータレンズ、インテグレータレンズ、を含む光学素子を介して被照射物に照射する光学系と、を有する露光装置において、該光源に対して該楕円反射鏡の開口側からレーザ光を入射するために、該楕円反射鏡によって反射された光の光路中に波長選択機能を有するビームスプリッターを設けたことを特徴とする露光装置。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (2件)：

H01L21/30 515A , H01L21/30 527

Fターム (3件)：

5F046CA02 , 5F046CB07 , 5F046CB22

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開昭61-193385号

審査官引用 (6件)

照明装置及びそれを用いた投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-108632 出願人：キヤノン株式会社
レーザ駆動の光源
公報種別：公表公報出願番号：特願2009-503066 出願人：エナジェティック・テクノロジー・インコーポレーテッド
特開昭61-193358

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