距離計及び距離測定方法並びに光学的三次元形状測定機

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：小池晃 , 伊賀誠司 , 藤井稔也 , 野口信博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-174860
公開番号（公開出願番号）：特開2010-014549
出願日： 2008年07月03日
公開日（公表日）： 2010年01月21日
要約：

【課題】長い距離を高い精度でしかも短時間に測定することが可能な距離計および距離測定方法を提供する。【解決手段】第1の光源1から出射されて基準面4に照射される基準光S1と第2の光源2から出射されて測定面6に照射される測定光S2と干渉光S3を基準光検出器3により検出して得られる干渉信号と、上記基準面4により反射された基準光S1’と上記測定面5により反射された測定光S2’との干渉光S4を測定光検出器6により検出して得られる干渉信号を信号処理部7に供給して、上記信号処理部7により、上記干渉光S3を検出した干渉信号と上記干渉光S4を検出した干渉信号の時間差から、光速と測定波長における屈折率から上記基準面までの距離と上記測定面までの距離の差を求める。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

それぞれ周期的に強度又は位相が変調され、互いに変調周期が異なる干渉性のある基準光と測定光を出射する第1及び第2の光源と、上記第1の光源から出射された基準光と上記第2の光源からの出射された測定光との干渉光を検出する基準光検出器と、上記第1の光源から出射された基準光が照射される基準面と、上記第2の光源から出射された測定光が照射される測定面と、上記基準面により反射された基準光と上記測定面により反射された測定光との干渉光を検出する測定光検出器と、上記基準光検出器により検出された干渉信号と上記測定光検出器により検出された干渉信号の時間差から、光速と測定波長における屈折率から上記基準面までの距離と上記測定面までの距離の差を求める信号処理部とを備える距離計。

IPC (4件)：

G01B 9/02 , G01S 17/32 , G01B 11/24 , G01C 3/06

FI (5件)：

G01B9/02 , G01S17/32 , G01B11/24 D , G01C3/06 120Q , G01C3/06 140

Fターム (65件)：

2F064AA01 , 2F064AA09 , 2F064CC04 , 2F064EE01 , 2F064FF01 , 2F064FF08 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG23 , 2F064GG33 , 2F064GG53 , 2F064GG55 , 2F064HH04 , 2F064JJ04 , 2F064JJ15 , 2F065AA04 , 2F065AA06 , 2F065FF32 , 2F065FF49 , 2F065FF51 , 2F065GG04 , 2F065GG08 , 2F065GG23 , 2F065HH04 , 2F065LL00 , 2F065LL33 , 2F065LL35 , 2F065LL37 , 2F065MM02 , 2F065MM16 , 2F065NN08 , 2F112AD01 , 2F112BA05 , 2F112BA06 , 2F112CA08 , 2F112DA09 , 2F112DA15 , 2F112DA17 , 2F112DA25 , 2F112EA03 , 2F112EA05 , 2F112GA01 , 5J084AA05 , 5J084AA06 , 5J084AD01 , 5J084AD02 , 5J084AD08 , 5J084BA03 , 5J084BA31 , 5J084BA48 , 5J084BB15 , 5J084BB17 , 5J084BB24 , 5J084CA07 , 5J084CA09 , 5J084CA10 , 5J084CA24 , 5J084CA33 , 5J084CA48 , 5J084DA01 , 5J084DA07 , 5J084DA08 , 5J084EA04 , 5J084EA05 , 5J084FA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

広範囲レーザ距離計および広範囲距離測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-167494 出願人：日本電気エンジニアリング株式会社

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