特許
J-GLOBAL ID：201003093204469975

水晶振動子の製造方法

発明者：
田代 昭彦

田代 昭彦 について

, 
佐々木 啓之

佐々木 啓之 について


出願人/特許権者：
日本電波工業株式会社

日本電波工業株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-020263
公開番号（公開出願番号）：特開2010-178184
出願日： 2009年01月30日
公開日（公表日）： 2010年08月12日
要約：
【課題】新規の工程を追加することなく、エッチングによって水晶のウエハから所望の水晶片を得ることができると共に、電極を自由に配設することができる水晶振動子の製造方法を提供すること。【解決手段】水晶片10を形成するときに水晶片10の+X側の角部と対応する2つの位置に配設される、ウエハWの+X軸方向に向けて伸びるダミー領域44、48を有するエッチングマスク6を形成し、水晶片10を形成するときにダミー領域44、48に対応する位置の溝部7のエッチングを遅らせる。これにより、角部の欠け部のない水晶片10を、ウエハWに接続支持部11に接続支持した状態で形成することができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ATカットされた水晶基板を用い、エッチングにより略矩形状の水晶片を水晶基板の残留部分に支持した状態で得る工程を含む水晶振動子の製造方法において、 前記水晶基板の+Y’側の面である表面及び裏面に金属膜及びレジスト膜を形成する工程と、 前記レジスト膜に露光、現像処理を行い、略矩形状の水晶片を得るための水晶片領域に対応するマスク部分と、この水晶片領域を所定の距離を開けて取り囲む水晶片の除去領域に対応する開口部分と、前記水晶片領域の+X側の2つの角部のうち、-Z’側の角部及び+Z’側の角部を各々第1の角部及び第2の角部と呼ぶとすると、前記水晶基板の表面側に形成され、第1の角部のZ’軸に沿った線からX軸方向に伸びる第1のダミー領域に対応するマスク部分と、前記水晶基板の裏面側に形成され、第2の角部のZ’軸に沿った線からX軸方向に伸びる第2のダミー領域に対応するマスク部分と、形成後の前記水晶片の略中央部と前記残留部分とを接続する支持部に対応するマスク部分と、を含むレジストマスクを形成する工程と、 前記レジストマスクから露出している前記金属膜をエッチングして、エッチングマスクを形成する工程と、 前記エッチングマスクを用いて前記水晶基板に対してエッチング液によるエッチングを行い、前記除去領域の前記水晶が除去されると共に、前記第1のダミー領域と第2のダミー領域上の前記エッチングマスクに覆われた領域の水晶部分のエッチングが遅れながら前記水晶片を形成する工程と、 前記水晶片に対して、励振電極と引出電極とを形成する工程と、 を含み、 前記第1のダミー領域と前記第2のダミー領域とは、前記水晶片が形成されたときに、このダミー領域に対応する位置の水晶の水晶部分が除去されるようにZ'方向の寸法が決定されていることを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (4件)：
H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (5件)：
H03H3/02 C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 L
Fターム (13件)：
5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108CC04 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11 ,  5J108NA02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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