特許
J-GLOBAL ID：200903082026355666
水晶片集合体とその製造方法、フォトマスク、及び水晶振動子
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-380276
公開番号（公開出願番号）：特開2006-186847
出願日： 2004年12月28日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：
【課題】金属膜を保護膜として水晶基板をエッチングし複数の水晶片を形成する水晶基板において、板厚が薄い高周波のものでも製造が容易で、個片を簡単に分離可能な水晶片集合体を提供することを目的とする。【解決手段】水晶のX軸(電気軸)に対して平行で且つZ軸(光軸)に対して傾斜したカット面を有する水晶基板であって、前記水晶基板の表面の前記X軸と直交する方向に延設されたフレーム部と、前記フレーム部に沿って形成された複数の水晶片と、前記フレーム部から前記X軸と平行な方向に延設された第1アーム部と、前記第1アーム部の端部から前記X軸と平行な方向に延設され前記水晶片に接続された第2アーム部とを備え、前記第2アーム部は前記第1アーム部より細幅であることを特徴とする水晶片集合体。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
水晶のX軸(電気軸)に対して平行で且つZ軸(光軸)に対して傾斜したカット面を有する水晶基板であって、前記水晶基板の表面の前記X軸と直交する方向に延設されたフレーム部と、前記フレーム部に沿って形成された複数の水晶片と、前記フレーム部から前記X軸と平行な方向に延設された第1アーム部と、前記第1アーム部の端部から前記X軸と平行な方向に延設され前記水晶片に接続された第2アーム部とを備え、前記第2アーム部は前記第1アーム部より細幅であることを特徴とする水晶片集合体。
IPC (6件)：
H03H 3/02
, G03F 1/08
, H03H 9/19
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H01L 41/18
H03H3/02 C
, H03H3/02 A
, G03F1/08 A
, H03H9/19 D
, H01L41/08 C
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101A
2H095BA12
, 2H095BB02
, 2H095BC09
, 5J108BB02
, 5J108DD02
, 5J108KK01
, 5J108MM11
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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