特許
J-GLOBAL ID：201003093739490396
ポリマーフィルム表面相互作用を変えるためのプロセス及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
村山 靖彦
, 志賀 正武
, 渡邊 隆
, 実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-283149
公開番号（公開出願番号）：特開2010-143220
出願日： 2009年12月14日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：
【課題】ポリマーフィルム表面相互作用を改良する。【解決手段】本プロセスにおいて、ポリマーキャリア目的物は、光重合性化合物、重合を開始する性能を有する光開始剤又は触媒、及び半フッ素化分子を含む化学組成物で被覆される。そのように形成されるポリマー型は半フッ素化部分を有し、これは表面上及びパターン形成された表面の近傍領域に多く存在する。このポリマー型はナノインプリントリソグラフィープロセスにおける改良された性質を有するテンプレートとして適する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
中間インプリント型プロセスで作られたポリマー型を形成するプロセスであって、半フッ素化部分を含み、前記半フッ素化部分はパターン形成された表面に主に存在し、ポリマーキャリア目的物が光重合性化合物と、重合を開始する性能を有する光開始剤又は触媒と、半フッ素化分子とを含む化学組成物で被覆され、前記半フッ素化分子は前記化学組成物に可溶であり、前記化学組成物と共有結合する性能を有する化学官能基によって完全に又は部分的に終端される、プロセス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B29C59/02 B
, H01L21/30 502D
4F209AA16
, 4F209AA21
, 4F209AA43
, 4F209AB04
, 4F209AJ02
, 4F209AJ03
, 4F209AJ08
, 4F209AJ09
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN06
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
, 5F046AA28
