特許
J-GLOBAL ID：200903091911635128

微細パターンの形成に用いられるモールド用樹脂組成物およびそれからの有機モールドの製作方法

発明者：
キム、テ・ワン

キム、テ・ワン について

, 
ヨ、ピル・ジン

ヨ、ピル・ジン について


出願人/特許権者：
ミヌタ・テクノロジー・カンパニー・リミテッド

ミヌタ・テクノロジー・カンパニー・リミテッド について


代理人 (11件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-500673
公開番号（公開出願番号）：特表2006-523728
出願日： 2004年04月14日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
【課題】不可逆的な接着や欠陥が発生することなく、基板から容易かつ反復的に離型され得る有機モールドの製造に使用できる、サブミクロンのパターンを形成するのに十分高いモジュラス、および優れた化学安定性および寸法安定性を有する新規なモールド材料、および該材料を用いた有機モールドの製作方法、並びにそれによって製作されたモールドを提供する。【解決手段】微細パターンの形成に用いられるモールド用樹脂組成物は、(A)反応性基を有する活性エネルギー硬化型ウレタン系オリゴマー40〜90重量部、(B)前記ウレタン系オリゴマーと反応性を有する単量体10〜60重量部、(C)前記成分(A)と(B)の合計100部に対してシリコーンまたはフッ素含有化合物0.01〜200重量部、および(D)前記成分(A)、(B)および(C)の合計100部に対して光開始剤0.1〜10重量部を含む。
請求項（抜粋）：
(A)(メタ)アクリレート、ビニルエーテル、アリールエーテルおよびこれらの組合せからなる群から選ばれる反応性基を有する活性エネルギー硬化型ウレタン系オリゴマー40〜90重量部、 (B)前記ウレタン系オリゴマーと反応性があり、(メタ)アクリレート、ビニルエーテル、アリールエーテルおよびこれらの組合せからなる群から選ばれる反応性基を有する単量体10〜60重量部、 (C)前記成分(A)と(B)の合計100部に対して、シリコーンまたはフッ素含有化合物0.01〜200重量部、および (D)前記成分(A)、(B)および(C)の合計100部に対して、光開始剤0.1〜10重量部 を含む微細パターンの形成に用いられるモールド用樹脂組成物。
IPC (4件)：
C08F 290/06 ,  B29C 59/02 ,  B29C 33/38 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
C08F290/06 ,  B29C59/02 B ,  B29C33/38 ,  H01L21/30 502D
Fターム (115件)：
4F202AF01 ,  4F202AG01 ,  4F202AG05 ,  4F202AH75 ,  4F202AH76 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ07 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CD04 ,  4F202CD05 ,  4F202CD30 ,  4F209AA42 ,  4F209AA43 ,  4F209AB04 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AH75 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN09 ,  4J127AA03 ,  4J127AA06 ,  4J127BA01 ,  4J127BB031 ,  4J127BB032 ,  4J127BB052 ,  4J127BB053 ,  4J127BB054 ,  4J127BB093 ,  4J127BB111 ,  4J127BB112 ,  4J127BB113 ,  4J127BB114 ,  4J127BB221 ,  4J127BB222 ,  4J127BB223 ,  4J127BB224 ,  4J127BC021 ,  4J127BC022 ,  4J127BC024 ,  4J127BC052 ,  4J127BC053 ,  4J127BC054 ,  4J127BC064 ,  4J127BC121 ,  4J127BC122 ,  4J127BC123 ,  4J127BC124 ,  4J127BC154 ,  4J127BD284 ,  4J127BD421 ,  4J127BD422 ,  4J127BD423 ,  4J127BD424 ,  4J127BD451 ,  4J127BD452 ,  4J127BD453 ,  4J127BD454 ,  4J127BE21Y ,  4J127BE214 ,  4J127BE24Y ,  4J127BE241 ,  4J127BE242 ,  4J127BE243 ,  4J127BE244 ,  4J127BF62Y ,  4J127BF621 ,  4J127BF622 ,  4J127BF624 ,  4J127BF64Y ,  4J127BF642 ,  4J127BF643 ,  4J127BF644 ,  4J127BG04Y ,  4J127BG042 ,  4J127BG044 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG171 ,  4J127BG172 ,  4J127BG173 ,  4J127BG174 ,  4J127BG27Y ,  4J127BG271 ,  4J127BG272 ,  4J127BG273 ,  4J127BG274 ,  4J127BG31Y ,  4J127BG312 ,  4J127BG313 ,  4J127BG314 ,  4J127BG38Y ,  4J127BG384 ,  4J127CA02 ,  4J127CB153 ,  4J127CB154 ,  4J127CB281 ,  4J127CB282 ,  4J127CB342 ,  4J127CC054 ,  4J127CC064 ,  4J127CC122 ,  4J127CC383 ,  4J127DA57 ,  4J127EA03 ,  4J127EA11 ,  4J127EA12 ,  4J127EA15 ,  4J127FA24 ,  4J127FA29 ,  5F046AA28
引用特許：
審査官引用 (16件)
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