特許
J-GLOBAL ID：201003095060564857
流体の処理および制御
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山本 秀策
, 安村 高明
, 森下 夏樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-098259
公開番号（公開出願番号）：特開2010-190907
出願日： 2010年04月21日
公開日（公表日）： 2010年09月02日
要約：
【課題】新規な構成の流体制御処理システムを提供する。【解決手段】複数のチャンバ(13)間の流体の流れを制御するための流体制御処理システム(10)は、流体移動領域に連続的に流体結合される流体処理領域を含む本体を含む。流体移動領域は、流体を流体移動領域に引き込むために減圧可能であり、また流体を流体移動領域から排出するために加圧可能である。本体は少なくとも1つの外部ポートを含む。流体処理領域は、本体の少なくとも1つの外部ポートに流体結合される。少なくとも1つの外部ポートを複数のチャンバに選択的に流体連通させるために、本体は複数のチャンバに対して調整可能である。1つまたはそれ以上のチャンバを、本体の少なくとも1つの外部ポートに選択的に係合するように構成された2つのポートと、濃縮材または減損材などの流体処理材とを収容する処理チャンバにしてもよい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
図1に示される流体制御処理システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2G058BA07
, 2G058BA08
, 2G058DA07
, 2G058EA14
, 2G058EC09
