特許
J-GLOBAL ID：201003096307938689

圧電薄膜振動片、圧電薄膜振動片の製造方法、圧電薄膜振動子及び発振回路

発明者：
瀧澤 照夫

瀧澤 照夫 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-245398
公開番号（公開出願番号）：特開2010-081156
出願日： 2008年09月25日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
要約：
【課題】圧電薄膜の圧電作用を用いた振動腕部の共振の効率が向上した圧電薄膜振動片、及びこの圧電薄膜振動片の製造方法の提供。【解決手段】圧電薄膜振動片は、少なくとも2つの互いに略平行な振動腕部10,11と、振動腕部10,11を連結する連結部12とを有し、振動腕部10,11のそれぞれの主面10a,11aに、上部電極20a,21a及び下部電極20b,21bからなる対向電極間に圧電薄膜20c,21cを設けた圧電薄膜振動部20,21を備え、圧電薄膜20c,21cと上部電極20a,21aとの間に、高誘電率絶縁薄膜20d,21dが形成されていることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも2つの互いに略平行な振動腕部と、前記振動腕部を連結する連結部とを有し、 前記振動腕部のそれぞれの主面に、上部電極及び下部電極からなる対向電極間に圧電薄膜を設けた圧電薄膜振動部を備え、 前記圧電薄膜と前記上部電極との間に、高誘電率絶縁薄膜が形成されていることを特徴とする圧電薄膜振動片。
IPC (8件)：
H03H 9/19 ,  H03H 3/02 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H03H 9/17 ,  H03H 9/24
FI (12件)：
H03H9/19 K ,  H03H3/02 D ,  H03B5/32 H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 K ,  H01L41/08 J ,  H03H9/17 F ,  H03H9/24 Z
Fターム (30件)：
5J079AA02 ,  5J079AA04 ,  5J079BA39 ,  5J079FA01 ,  5J079FA14 ,  5J079FA21 ,  5J079FB03 ,  5J079GA09 ,  5J079HA03 ,  5J079HA22 ,  5J108AA04 ,  5J108AA09 ,  5J108BB02 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC06 ,  5J108CC08 ,  5J108CC13 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF01 ,  5J108FF05 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108KK02 ,  5J108KK07 ,  5J108MM14 ,  5J108NA03
引用特許：
出願人引用 (1件)

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