薄膜微小機械式共振子、薄膜微小機械式共振子ジャイロ、この薄膜微小機械式共振子ジャイロを用いたナビゲーションシステム及び自動車

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-300116
公開番号（公開出願番号）：特開2003-227719
出願日： 2002年10月15日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【課題】駆動効率を向上させた薄膜微小機械式共振子、駆動効率の向上により印加された角速度に対する検出感度が向上した薄膜微小機械式共振子ジャイロ、この薄膜微小機械式共振子ジャイロを用いたナビゲーションシステム及び自動車を提供することを目的とする。【解決手段】アーム2,3とアーム2,3を連結する基部4とを有したシリコンからなる音叉と、アーム2,3の主面5上の中心線6,7より内側及び外側にそれぞれ離間するように設けられた第1、第2の電極10,12,11,13と、第1、第2の電極10,12,11,13上にそれぞれ設けられた第1、第2の圧電薄膜14,16,15,17と、第1、第2の圧電薄膜14,16,15,17上にそれぞれ設けられた第3、第4の電極18,20,19,21とから構成されたものである。

請求項（抜粋）：

少なくとも2つのアームとこのアームを連結する少なくとも1つの基部とを有した非圧電材料からなる音叉と、この音叉の少なくとも1つのアームの少なくとも1つの主面上の中心線より内側及び外側にそれぞれ離間するように設けられた第1、第2の電極と、この第1、第2の電極上にそれぞれ設けられた第1、第2の圧電薄膜と、この第1、第2の圧電薄膜上にそれぞれ設けられた第3、第4の電極とを備え、前記第3、第4の電極に互いに逆相の交流電圧を印加することにより前記音叉がX方向に共振するように構成された薄膜微小機械式共振子。

IPC (5件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 , H01L 41/09 , H01L 41/18

FI (7件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 J , H01L 41/08 D , H01L 41/08 Z , H01L 41/08 U , H01L 41/18 101 Z

Fターム (5件)：

2F105AA02 , 2F105BB02 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06

引用特許：

出願人引用 (11件)

米国特許第5438231号公報
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-264518 出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-141936 出願人：日本電装株式会社

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審査官引用 (10件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-264518 出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-141936 出願人：日本電装株式会社
振動型角速度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-149415 出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー

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